有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理污染物的原理為在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的很多高能電子炮擊污染物分子，使其電離、解離和激起;然后引發(fā)一系列雜亂的物理、化學(xué)反應(yīng)，使雜亂大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿游镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。

低溫等離子體技能對(duì)大氣量、低濃度的污染氣體有較高的處理功率，是性價(jià)比十分高的有效處理技能。該辦法具有功率高、成本低、設(shè)備適應(yīng)性強(qiáng)、占地面積小、便于操作操控、開停便利、與噴漆工藝同步、可根據(jù)污染物源強(qiáng)和排放要求進(jìn)行升級(jí)等長處。作為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項(xiàng)具有潛在優(yōu)勢的高新技能，等離子體受到了國內(nèi)外相關(guān)學(xué)科界的高度關(guān)注。

單一等離子體有機(jī)廢氣處理功率較高且副產(chǎn)物較少，不會(huì)造成二次污染，但其較高的能耗和較低的能量功率是目前需求攻克的難題，等離子復(fù)合光催化可以彌補(bǔ)其缺點(diǎn)。等離子體催化劑選用TiO2，其為寬禁帶(Eg=3.2eV)半導(dǎo)體化合物，只要波長較短的太陽光才干被吸收，激起其活性，所以設(shè)計(jì)反應(yīng)設(shè)備的時(shí)候需求添加紫外光源。