參數(shù):
· 運(yùn) 動(dòng) 維 度 :X、Y、Z、α、β、Ψ· X、Y 行程:±8mm、±8mm
· Z 行程: ±9mm
· α、β行程:±3°
· Ψ 行程:±5°
· 推進(jìn)設(shè)備分辨率:1μm
· X、Y 運(yùn)動(dòng)精度:5μm
· Z運(yùn)動(dòng)精度:3μm
· X、Y 重復(fù)運(yùn)動(dòng)精度:2μm
· Z 重復(fù)運(yùn)動(dòng)精度:2μm
· α、β運(yùn)動(dòng)精度:0.069mrad
· X、Y 移動(dòng)速度:1mm/s
· Z移動(dòng)速度:2mm/s
· 負(fù)載(水平):100kg
· 質(zhì)量:10.5kg
· 尺寸(直徑*高度):390mm*310mm



















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