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雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱OTF-1200X-PESDFG-50

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海繪吉電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/9/8 9:09:53
  • 訪問次數(shù)251
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及科學(xué)儀器、工業(yè)質(zhì)檢儀器及相關(guān)消耗品,專業(yè)涉及高校、新能源、鋼鐵行業(yè)、科研研究及輕工化工、在國(guó)內(nèi)特別是華東地區(qū)具有廣泛的客戶基礎(chǔ)和良好的商業(yè)信譽(yù)。經(jīng)過幾年的發(fā)展,繪吉公司已經(jīng)在同行業(yè)中確立了多方面的好的地位,無論在公司規(guī)模、人員素質(zhì)、經(jīng)營(yíng)品種、銷售能力和售后服務(wù)等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認(rèn)可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設(shè)備),電池材料制備設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實(shí)驗(yàn)室耗材。。上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀等分析類設(shè)備),德國(guó)普發(fā)真空設(shè)備,電池材料制備設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實(shí)驗(yàn)室耗材。上海繪吉-德國(guó)普發(fā)真空Pfeiffer Vacuum-作為的真空技術(shù)解決方案的供應(yīng)商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵, 同時(shí)還擁有各種旋片泵,干泵,羅茨泵,氦氣質(zhì)譜檢漏儀,真空規(guī),四級(jí)質(zhì)譜儀等產(chǎn)品以及真空管件和綜合真空系統(tǒng)。 從普發(fā)1958年發(fā)明渦輪分子泵至今, 我們?cè)诜治?、研發(fā)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體和其他工業(yè)領(lǐng)域,始終代表著創(chuàng)新的解決方案、高品質(zhì)、穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品和的服務(wù)。公司自1890年創(chuàng)立至今百余年,現(xiàn)有將近2300名員工,20多家分公司遍布,并且在德國(guó)、法國(guó)、羅馬尼亞、韓國(guó)設(shè)有生產(chǎn)制造基地。隨著中國(guó)綜合國(guó)力的提升,產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí),以及對(duì)節(jié)能減排,科研和高精尖制造工藝的強(qiáng)烈需求,對(duì)真空技術(shù)的需求也在不斷的提升。作為德國(guó) Pfeiffer Vacuum GmbH 的全資子公司,普發(fā)真空技術(shù)上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入駐中國(guó)上海,標(biāo)志著普發(fā)真空在中國(guó)的業(yè)務(wù)已經(jīng)初具規(guī)模,以及公司對(duì)中國(guó)持續(xù)增長(zhǎng)的信心。公司現(xiàn)坐落于上海市浦東新區(qū)世紀(jì)公園附近,并且在江蘇無錫建有 4000m2 的售后服務(wù)工廠。上海繪吉電子科技有限公司獲得深圳科晶智達(dá)科技有限公司一級(jí)代理權(quán),科晶為研究新一代可充電電池,超級(jí)電容器與快速儲(chǔ)能材料提供最完整的成套解決方案。方案定位于鋰電池的研究市場(chǎng),主要為大專院校、科研院所以及生產(chǎn)企業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室用的小型混壓設(shè)備和機(jī)械加工與測(cè)試等一系列產(chǎn)品,提供研發(fā)環(huán)節(jié)所需的電池能源材料制備相關(guān)設(shè)備產(chǎn)品與成套實(shí)驗(yàn)室方案:“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測(cè)試”設(shè)備:球磨機(jī)、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機(jī)、軋機(jī)、切片機(jī)、封裝機(jī)、電池分析儀等。上海繪吉電子科技有限公司成功和進(jìn)口公司合作。德國(guó)普發(fā)真空設(shè)備,德國(guó)布魯克儀器有限公司,分析儀器有限公司,美國(guó)PE公司,美國(guó)熱電儀器有限公司,天美科技有限公司,島津,萊卡儀器,日本horriba,梅特勒等進(jìn)口公司
激光拉曼光譜,分子熒光光譜,激光粒度儀
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱OTF-1200X-PESDFG-50
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱OTF-1200X-PESDFG-50 產(chǎn)品信息

 OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),并且連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在室驗(yàn)中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

● 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面,和通過對(duì)爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果

● 連續(xù)工作溫度:1100℃

● 兩個(gè)爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序

等離子體射頻電源

● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005%

● 射頻功率: 500W

● 匹配: 自動(dòng)匹配

● 噪音: <50 dB.

● 冷卻: 空氣冷卻

● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

真空系統(tǒng)

● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr

● KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連

● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr

質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)

● 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動(dòng)控制

● MFC1范圍: 0~100 sccm

● MFC2和3: 0~200 sccm

● MFC4范圍: 0~500 sccm

● 一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口

● 4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體

● 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS

● 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.

● 采用PLC控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制

● 可選購(gòu)氣液混合裝置,用于CVD系統(tǒng)

 
  
爐管&密封法蘭

● 高純石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

● 配有一套不銹鋼密封法蘭,并且上面安裝有真空計(jì)

 
防腐型真空計(jì)

● 輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)

● 測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.

● 數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

● 接頭 KF16 接頭

● 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

循環(huán)手套箱

● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

● 帶有除水系統(tǒng):保持水含量< 2 ppm

● 一真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接

  
質(zhì)保期一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈)
質(zhì)量認(rèn)證● CE 認(rèn)證
● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證
    
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