| 型號(hào):OTF-1200X-50-4CLV-PE | 品牌: 科晶 |
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 核心參數(shù)
升溫速度(達(dá)到溫)
10℃ 內(nèi)部尺寸
外徑: 50 ×內(nèi)徑: 44 ×長: 1000 mm 加熱方式
電阻絲 功率
3KW 控溫精度
±1℃ 溫度
1200℃ 儀器種類
管式爐
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD), 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。
技術(shù)參數(shù)
實(shí)驗(yàn)機(jī)理 | |
產(chǎn)品特點(diǎn) | 雖環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解,離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。 科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計(jì)和高真空系統(tǒng)氣體組成 OTF-1200X開啟式管式爐,工作溫度高達(dá)1200℃ 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的組成圖 |
開啟式管式爐 | |
等離子射頻電源 | |
真空泵和閥門 | |
質(zhì)量流量計(jì) | 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02% 一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入 進(jìn)氣口:采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
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細(xì)節(jié)圖展示 |
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外形尺寸 | |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外,如加熱元件,密封圈等易耗件 |
質(zhì)量認(rèn)證 | |
國家 | 名稱:可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置 編號(hào):ZL-2011-2-0355777.1 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究 |
| 使用注意事項(xiàng): | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
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