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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海繪吉電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/9/15 8:50:35
  • 訪問次數(shù)157
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及科學(xué)儀器、工業(yè)質(zhì)檢儀器及相關(guān)消耗品,專業(yè)涉及高校、新能源、鋼鐵行業(yè)、科研研究及輕工化工、在國內(nèi)特別是華東地區(qū)具有廣泛的客戶基礎(chǔ)和良好的商業(yè)信譽(yù)。經(jīng)過幾年的發(fā)展,繪吉公司已經(jīng)在同行業(yè)中確立了多方面的好的地位,無論在公司規(guī)模、人員素質(zhì)、經(jīng)營品種、銷售能力和售后服務(wù)等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認(rèn)可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設(shè)備),電池材料制備設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實(shí)驗(yàn)室耗材。。上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀等分析類設(shè)備),德國普發(fā)真空設(shè)備,電池材料制備設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實(shí)驗(yàn)室耗材。上海繪吉-德國普發(fā)真空Pfeiffer Vacuum-作為的真空技術(shù)解決方案的供應(yīng)商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵, 同時(shí)還擁有各種旋片泵,干泵,羅茨泵,氦氣質(zhì)譜檢漏儀,真空規(guī),四級(jí)質(zhì)譜儀等產(chǎn)品以及真空管件和綜合真空系統(tǒng)。 從普發(fā)1958年發(fā)明渦輪分子泵至今, 我們在分析、研發(fā)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體和其他工業(yè)領(lǐng)域,始終代表著創(chuàng)新的解決方案、高品質(zhì)、穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品和的服務(wù)。公司自1890年創(chuàng)立至今百余年,現(xiàn)有將近2300名員工,20多家分公司遍布,并且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國設(shè)有生產(chǎn)制造基地。隨著中國綜合國力的提升,產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí),以及對(duì)節(jié)能減排,科研和高精尖制造工藝的強(qiáng)烈需求,對(duì)真空技術(shù)的需求也在不斷的提升。作為德國 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全資子公司,普發(fā)真空技術(shù)上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入駐中國上海,標(biāo)志著普發(fā)真空在中國的業(yè)務(wù)已經(jīng)初具規(guī)模,以及公司對(duì)中國持續(xù)增長的信心。公司現(xiàn)坐落于上海市浦東新區(qū)世紀(jì)公園附近,并且在江蘇無錫建有 4000m2 的售后服務(wù)工廠。上海繪吉電子科技有限公司獲得深圳科晶智達(dá)科技有限公司一級(jí)代理權(quán),科晶為研究新一代可充電電池,超級(jí)電容器與快速儲(chǔ)能材料提供最完整的成套解決方案。方案定位于鋰電池的研究市場,主要為大專院校、科研院所以及生產(chǎn)企業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室用的小型混壓設(shè)備和機(jī)械加工與測試等一系列產(chǎn)品,提供研發(fā)環(huán)節(jié)所需的電池能源材料制備相關(guān)設(shè)備產(chǎn)品與成套實(shí)驗(yàn)室方案:“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測試”設(shè)備:球磨機(jī)、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機(jī)、軋機(jī)、切片機(jī)、封裝機(jī)、電池分析儀等。上海繪吉電子科技有限公司成功和進(jìn)口公司合作。德國普發(fā)真空設(shè)備,德國布魯克儀器有限公司,分析儀器有限公司,美國PE公司,美國熱電儀器有限公司,天美科技有限公司,島津,萊卡儀器,日本horriba,梅特勒等進(jìn)口公司
激光拉曼光譜,分子熒光光譜,激光粒度儀
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

型號(hào):OTF-1200X-50-4CLV-PE品牌: 科晶


4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 核心參數(shù)

  • 升溫速度(達(dá)到溫)
    10℃
  • 內(nèi)部尺寸
    外徑: 50 ×內(nèi)徑: 44 ×長: 1000 mm
  • 加熱方式
    電阻絲
  • 功率
    3KW
  • 控溫精度
    ±1℃
  • 溫度
    1200℃
  • 儀器種類
    管式爐


為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD), 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。


技術(shù)參數(shù)

實(shí)驗(yàn)機(jī)理

  • 輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3

  • 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 雖環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解,離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

  • 科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

  • 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計(jì)和高真空系統(tǒng)氣體組成

OTF-1200X開啟式管式爐,工作溫度高達(dá)1200℃      化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的組成圖

開啟式管式爐

  • 工作溫度:1200℃

  • 爐管尺寸:Φ50,Φ60Φ80都可用

  • 溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

  • 加熱區(qū)長度:440mm

  • 恒溫區(qū)長度:150mm

  • 功率:AC 220V 4KW

等離子射頻電源

  • 輸出功率:50-500W可調(diào)±1%

  • RF頻率: 13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005%

  • 噪聲:≤55DB

  • 冷卻:風(fēng)冷

  • 輸入功率:1KW  AC 220V

真空泵和閥門

  • 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

  • 真空度可達(dá)10-3torr

  • 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測量范圍為3.8x10-5 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)

質(zhì)量流量計(jì)

  • 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量

  • 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

  • 一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

  • 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入

  • 進(jìn)氣口:采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭

細(xì)節(jié)圖展示


外形尺寸

  • 爐體:550*380*520mm

  • 供氣及真空系統(tǒng):600*600*597mm

  • 凈重:120KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外,如加熱元件,密封圈等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

  • CE認(rèn)證

  • 所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證

  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

國家

名稱:可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置

編號(hào):ZL-2011-2-0355777.1

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

使用注意事項(xiàng):
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃

  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)



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