LST-121型固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測試儀是按照國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980:《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法》研制的多用途綜合測量裝置,它可以測試固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率,也可單獨(dú)作為超高電阻計(jì)或微弱電流表使用。
本測試儀特增設(shè)雙窗口同步顯示測試結(jié)果(電阻率或表面電阻)及測試條件(電壓或電流)功能
固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測試儀主要由主機(jī)、高壓測試臺(tái)等部分組成。主機(jī)主要由高壓電源、數(shù)控可編程放大器、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅(qū)動(dòng)及嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。高壓測試臺(tái)主要由標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形三電極和連接線等組成!對(duì)于小面積高阻薄膜類樣品方阻測試可以選配LST-121-F02型方阻探頭。體積電阻率 表面電阻測試儀
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;可自動(dòng)/手動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測量簡便、讀數(shù)方便等特點(diǎn)。
本儀器適用于防靜電產(chǎn)品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動(dòng)地板等電阻值的檢驗(yàn)以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測量。微弱電流測量如光電效應(yīng)和器件暗電流測量.
二、技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率
測試電壓范圍UX: 0.1V ~500V.
電阻測試范圍RX: 1×102Ω ~5×1013Ω, 分辨率1/2000,
電流測試范圍IX: 1.5× 10-3A ~ 10× 10-12A,分辨率1/2000。
體電阻率試范圍ρV: FV×102Ω-cm ~FV×1012Ω-cm,F(xiàn)V體電阻率修正系數(shù)1~99,默認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)三電極FV=23.76cm/h
表面電阻率測試范圍ρS: FS×103Ω/□~FS×1017Ω/□,F(xiàn)S表面電阻率修正系數(shù)1~99,默認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)三電極FS=34.55 lst-121 LST-121
2. 電阻量程劃分(電阻率要乘以相應(yīng)修正系數(shù)1~99)、測試條件及誤差等級(jí)
序號(hào) | 量程 | 有效測量范圍 | 測試電壓 | 測試電流 | 誤差 |
1 | 103Ω-cm/□ | 0.100~1.000 | 1.00V | 1.000~0.100 mA | ±5% FSB |
2 | 103Ω-cm/□ | 01.00~10.00 | 10.0V | 1.000~0.100 mA | ±3% FSB
|
3 | 103Ω-cm/□ | 010.0~450.0 | 100V | 1.000~0.100 mA | |
4 | 106Ω-cm/□ | 0.450~4.500 | 500V | 1.000~0.100 mA | |
5 | 106Ω-cm/□ | 04.50~50.00 | 500V | 100.0~010.0μA | ±5% FSB |
6 | 106Ω-cm/□ | 050.0~500.0 | 500V | 10.00~1.00μA | |
7 | 109Ω-cm/□ | 0.500~5.000 | 500V | 1.000~0.100μA | |
8 | 109Ω-cm/□ | 05.00~50.00 | 500V | 100.0~010.0 nA |
±8%FSB
|
9 | 109Ω-cm/□ | 050.0~500.0 | 500V | 10.00~01.00 nA | |
10 | 1012Ω-cm/□ | 0.500~5.000 | 500V | 1.000~0.100 nA | |
11 | 1012Ω-cm/□ | 05.00~50.00 | 500V | 100.0~010.0 pA | ±10%FSB
|
3. 可測半導(dǎo)體材料尺寸(以標(biāo)準(zhǔn)電極為)
直 徑: 測試臺(tái)直接測試方式 寬(W)×長(L)≥90mm×90mm,或直徑 Φ≥90mm
厚 度: 測試臺(tái)直接測試方式 厚度d≤2.5mm,
4. 電源:
功耗:主機(jī)< 15W
輸入: 220V±10% 50Hz
5. 本儀器工作條件為:
溫 度: 0~35℃
相對(duì)濕度: ≤60%
工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場干擾,不與高頻設(shè)備共用電源。
6. 外形尺寸:
主 機(jī): 320mm(長)×320 mm(寬)×135mm(高)
高壓測試臺(tái): Φ=100mm(底座直徑)×80 mm(高)
三、工作原理
1. 測試原理:體電阻率和表面電阻率測試原理簡介如下:
注:詳細(xì)原理請(qǐng)參照國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980:《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法》
[1]體電阻率表面電阻率測量基本原理圖:
如下 圖1 固體絕緣材料電阻率測試原理圖
[2]體電阻率表面電阻率測量常用電極示意圖:
如下 圖2 標(biāo)準(zhǔn)平板樣品測試電極原理圖
如下 圖3 標(biāo)準(zhǔn)管狀樣品測試電極原理圖
[3]體電阻率表面電阻率測量計(jì)算公式:
[4]體電阻率表面電阻率測量重復(fù)性:
[5]體電阻率表面電阻率測量測試報(bào)告注意點(diǎn):
[6]體電阻率表面電阻率測量快捷方式--標(biāo)準(zhǔn)測試電極時(shí)的修正系數(shù):
當(dāng)測試樣品形狀和測試電極形式確定時(shí),則樣品體電阻率或表面電阻率與體電阻的換算系數(shù)就是常數(shù)。本儀器不但可以直接測試顯示測試電壓測試電流值,還可以設(shè)定相應(yīng)換算系數(shù)值,就可以直接顯示樣品體電阻率或表面電阻率值。下是本機(jī)配備的測試三電極參數(shù)和測試樣品體電阻率或表面電阻率對(duì)應(yīng)修正系數(shù):
注:參照?qǐng)D2,按以下修正系數(shù),體電阻率最終單位為Ω·cm表面電阻率為Ω/□
表3.1 環(huán)形三電極修正系數(shù)
序號(hào) | 樣片圖示 | 基本尺寸參數(shù) | 樣品修正系數(shù)F | 備注 |
1 標(biāo)準(zhǔn) 環(huán)形 三電 極 | LST-121-F01 | d1= 50.0mm d2= 60.0mm d3=80.0mm d4=90.00 g= 5.0mm
| a體電阻測量 F=1.00 b體電阻率測試: FV=A/h=(23.76/h) cm c表面電阻率測試: FS=P/g=34.55 | 1:標(biāo)準(zhǔn)平板樣品 2:h 樣品厚度cm (標(biāo)準(zhǔn)配置) |
2 薄膜 方阻 環(huán)形 三電 極
| LST-121-F02 | d1=3.0mm d2=7.0mm d3=9.0mm d4=忽略 g= 2.0mm
| A薄膜方塊電阻率測試: FS=P/g=7.85 | (選配探頭) 測試高阻薄膜方塊電阻 |
2. 電氣原理
LST-121型超高阻微電流測試儀原理方框圖如圖3.3所示。
圖3.3 LST-121原理方框圖
四、結(jié)構(gòu)特征
主機(jī)為儀器主要電氣部分所在,在其面板結(jié)構(gòu)特征和標(biāo)準(zhǔn)三電極組成如圖4.1所示。
圖4.1 LST-121面板特征和標(biāo)準(zhǔn)三電極組成示意圖
主機(jī)后蓋板設(shè)有交流220V電源插座和保險(xiǎn)絲座以及電源開關(guān)。
五、使用方法
ST2643型超高阻微電流測試儀能夠測量普通電阻器或絕緣材料的體電阻RX(修正系數(shù)1.000),絕緣材料體電阻率ρV、表面電阻率ρS(后二項(xiàng)需調(diào)整不同的修正系數(shù)),也可用作為微電流測試儀。
5.1 操作概述
(1) 測試準(zhǔn)備(以體電阻率或表面電阻率測試為例):
主機(jī)電源開關(guān)置于斷開位置,將電源插頭插入具有漏電保護(hù)斷路器的電源插座。打開主機(jī)電源,預(yù)熱半小時(shí)后,投入使用為宜!測試電極和測試樣品應(yīng)在測試前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。
如圖4-1,將測試臺(tái)的線纜插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來,連接方式按照測試需要電阻率或方阻,參照原理章節(jié)3.1和圖1。將電極與樣品良好接觸,注意三電極中圓柱電極、環(huán)型電極和平板電極要同軸放置,樣品置于平板電極之上和圓柱電極、環(huán)型電極之下,平板電極的絕緣板朝下。
測試電壓量程選擇,一般選先選50V檔,對(duì)于測試結(jié)果大于高阻106的再選其它檔。如100V或更高電壓,主要原則就是測試電流要有3位到4位顯示值。
圖 5-1A 設(shè)定參數(shù) 圖5-1B測試電流 圖5-1C測試電壓
(2) 參數(shù)設(shè)定:
儀器開機(jī)默認(rèn)狀態(tài)為“設(shè)定” 模式,參照?qǐng)D5.1A LST-121面板示意圖,右窗口右側(cè)“設(shè)定”模式燈亮,通過鍵盤輸入需要的修正系數(shù)。系數(shù)有效范圍為00.01~99.99,,當(dāng)前設(shè)定系數(shù)由右側(cè)窗口顯示。輸入完畢要按“確定”鍵保存。按鍵操作詳見下5.2節(jié)鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說明,儀器默認(rèn)修正系數(shù)(F=1.000), 對(duì)于儀器所配電極,測試體電阻率或表面電阻率參照表3.1查取系數(shù)FV或FS,對(duì)于其他非標(biāo)準(zhǔn)電極,參照原理章節(jié)3.3計(jì)算FV或FS
(3)測量:
設(shè)定完畢,按“模式”鍵,切換儀器到“測量”模式(電流或電壓)。按“啟動(dòng)”按鈕,啟動(dòng)高壓并開始測試,窗口左側(cè)顯示體電阻率或表面電阻率(具體由設(shè)定系數(shù)意思確定),右側(cè)窗口顯示測試電流或測試電壓,如圖5-1B圖5-1C,由“模式”按鍵選擇,右側(cè)狀態(tài)指示燈指示。由數(shù)字顯示窗直接讀出測量結(jié)果。
! 面板鍵盤詳細(xì)操作規(guī)則請(qǐng)見“鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說明”。
(4)樣品的取出
首先按“停止”按鈕切斷高壓電源!再從儀器面板上UH和UL端拔掉高壓連接線,取出樣品!
5.2.鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說明(請(qǐng)參見圖4.1 LST-121面板示意圖)
(1) 設(shè)定模式時(shí)鍵盤輸入與顯示規(guī)則
























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