產(chǎn)品詳情
Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度可達2×10-6mbar。鍍膜細膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測器,可精確控制鍍膜厚度。全自動電腦控制,自動完成抽真空,鍍膜,放氣等全過程,一鍵操作。采用當下的觸摸屏控制,簡單方便。
儀器可選離子濺射鍍金屬膜,滿足高分辨場發(fā)射掃描電鏡(FESEM)需求??蛇x碳絲蒸發(fā)鍍碳膜,用于X-射線能譜及波譜分析,或者TEM銅網(wǎng)鍍碳膜。還可以選擇電子束蒸發(fā)方式鍍膜,獲得極其細膩的金屬膜與碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。

主要技術(shù)參數(shù):
· 可任選離子濺射模式,碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,碳棒(熱阻)蒸發(fā)模式,電子束蒸發(fā)模式,雙濺射模式,濺射-碳絲模式,濺射-碳棒模式,濺
射-電子束模式,雙電子束模式,可兼容EM VCT100冷凍傳輸系統(tǒng),可選輝光放電(用于網(wǎng)格表面親水化)
· 設(shè)計脈沖式碳絲蒸發(fā)方式,可精確控制碳膜厚度
· 內(nèi)置石英膜厚檢測器,精確控制鍍膜厚度,精度達0.1nm
· 全自動程序控制,自動完成抽真空,鍍膜,放氣等過程
· 觸摸屏控制,簡單方便
· 采用隔膜泵+渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度2×10-6mbar
· 濺射電流:0-150mA可調(diào)
· 方形樣品倉設(shè)計,樣品倉尺寸:200mm(寬)×150mm(深)×195mm(高)
· 樣品臺內(nèi)置旋轉(zhuǎn),工作距離調(diào)節(jié)范圍:30mm-100mm




















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