較高精度測針型CNC 表面測量儀可以同時進(jìn)行表面粗糙度和形狀／輪廓的測量。
X1 軸和Z2 軸的驅(qū)動速度分別為40mm/s 和200mm/s，可以高速定位，提高了多重輪廓／多工件測量的效率。
X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，實現(xiàn)分辨率(X1 軸分辨率：6.25nm,Z1 軸分辨率：4nm/8nm) 的輪廓／形狀測量、表面粗糙度的測量和批次測量。
Z1 軸檢測器采用主動控制方式，減少Z1軸動態(tài)測力變化的同時擴(kuò)展了測量范圍。
Z1 軸檢測器集成了防碰撞安全裝置，當(dāng)儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。
帶有a 軸的型號，可以通過電動旋轉(zhuǎn)X1軸連續(xù)測量水平面和傾斜面。
帶有Y 軸工作臺的型號，可沿Y 軸進(jìn)行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
提供易于操作的遙控箱，用戶可以通過這兩個操縱桿選擇合適的軸進(jìn)行移動。在按鍵上標(biāo)有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態(tài)。
通過USB 端口與數(shù)據(jù)處理／分析裝置(選件) 進(jìn)行信息交換。

技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測量范圍: 200mm
分辨率: 0.00625μm
檢測方法: 激光全息光柵尺
驅(qū)動速度: 40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操縱桿控制模式)
測量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形狀／輪廓)
移動方向: 向前／向后
直線度: (0.1+0.0015L)μm、使用標(biāo)準(zhǔn)測針
           (0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針
直線度: (0.05+0.0003L)μm、使用標(biāo)準(zhǔn)測針
           (0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針

           (CS-H5000CNC)
指示精度 (20°C): ±(0.3+0.002L)μm
指示精度 (20°C): ±(0.16+0.001L)μm(CS-H5000CNC)
L 為驅(qū)動長度(mm)
Z1 軸
測量范圍: 12mm (標(biāo)準(zhǔn)測針)
24mm (二倍長型測針)
分辨率: 0.001μm (標(biāo)準(zhǔn)測針)
0.002μm (二倍長型測針)

測針上／下運作: 弧形運動
檢測方法: 激光全息光柵尺
指示精度 (20°C): ±(0.3+I0.02HI)μm
指示精度 (20°C): ±(0.07+I0.02HI)μm(CS-H5000CNC)
H 為測量高度(mm)
測力: 4mN (標(biāo)準(zhǔn)測針)
0.75mN (二倍長型測針)
跟蹤角度: 向上60° 、 向下60°
(取決于表面粗糙度)
測針針尖: 半徑: 5μm, 角度： 40°、鉆石
(球型測針) (半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石)
測針方向: 向下
Z2 軸(立柱)
測量范圍: 300mm (500mm：高立柱型)
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動速度: 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)
基座尺寸(W x D): 750 x 600mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm
(800 x 620 x 1200mm：高立柱型)
重量: 240kg (250kg：高立柱型)

*產(chǎn)品信息僅供參考，型號和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時更改