X軸

測量范圍:100mm或200mm

分辨率:0.05μm

檢測方法:反射型線性編碼器

驅(qū)動速度:80mm/s和手動

測量速度:0.02-5mm/s

移動方向:向前／向后

直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm

*當(dāng)X軸在水平方向上指示精度:±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)

(20°C時)±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)

±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)

±(0.8+0.02L)μm(CV-4100S8,H8,W8)

*L為驅(qū)動長度(mm)

傾斜范圍:±45°

Z2軸(立柱)

垂直行程:300mm或500mm

分辨率:1μm

檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器

驅(qū)動速度:0-20mm/s和手動

Z1軸(檢測器)

測量范圍:±25mm

分辨率:0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100)

檢測方法:線性編碼器(CV-3100),

激光全息測微計(CV-4100)

指示精度:±(2+I4HI/100)μm(CV-3100)

(20°C時)±(0.8+I2HI/100)μm(CV-4100)

*H為水平位置上的測量高度(mm)

測針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動

測針方向:向上／向下

測力:30mN

跟蹤角度:向上：77°、向下：87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)

測針針尖半徑:25μm、硬質(zhì)合金針尖

基座尺寸(WxH):750x600mm或1000x450mm

基座材料:花崗巖

重量

主機(jī):140kg(S4),150kg(H4),155kg(W4),145kg(S8),155kg(H8),160kg(W8)

　控制裝置:14kg

　遙控箱:0.9kg

電源:100–240VAC±10%,50/60Hz

能耗:400W(限主機(jī))

批量校準(zhǔn)功能

?使用校準(zhǔn)規(guī)，可同時進(jìn)行設(shè)備的Z軸增益，對稱及針尖半徑的校準(zhǔn)。

*產(chǎn)品信息僅供參考，型號和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時更改