主要規(guī)格

観察方法

光切斷方式(利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測定深度高度)

■物鏡

固定倍率10倍(5倍、20倍)

軸駆動方式

基于點光的AF連續(xù)追蹤方式(離線時可手動測量)

投射縫隙

10um半反光鏡型

Z軸測量

Z軸數(shù)字線性儀表0.1閱讀

重復(fù)精度

~1微米以內(nèi)

使用光源

半導(dǎo)體激光器(類2)、鹵素光源

自動捕捉表示截面形狀的細(xì)狹縫光、紅色激光斑點、階梯差的變化，Z

軸功能迅速跟隨，進(jìn)行測定數(shù)值的數(shù)字顯示(自動聚焦)·系統(tǒng))功能

與電子線方式的基準(zhǔn)線相結(jié)合，擴(kuò)大了測量范圍，提高了利用價值，是

新型的深度高度測量機(jī)。