-天然大理石龍門架結(jié)構(gòu), 主動隔振系統(tǒng)
-主軸氣浮軸承技術(shù),飛刀盤直徑60-400mm可選,轉(zhuǎn)速3000RPM
-X氣浮軸大行程設(shè)計,900mm; Z軸雙V型機(jī)械軸承導(dǎo)軌,行程420mm
-Y軸或B+C軸(二維可調(diào)傾斜工作臺)可選,可加工球面、多面棱體、錐體等零件
-針對薄形零件加工的真空夾具(半導(dǎo)體器件減薄,光學(xué)晶體減薄等)
-多種測量系統(tǒng)可選: 6或12英寸平面激光干涉儀,在線工件厚度測量頭等
-加工精度: P-V 100nm(100mm), Ra<2nm




















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