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高低溫載物臺(tái)Thermo chuck探針臺(tái)卡盤

在微電子器件的測(cè)試和研究中具有廣的應(yīng)用。它可以用于測(cè)試各種類型的微電子器件，例如集成電路、MEMS器件、光電子器件等。同時(shí)，它還可以用于研究不同溫度下微電子器件的性能和行為，為器件設(shè)計(jì)和優(yōu)化提供重要依據(jù)。

是一種重要的測(cè)試設(shè)備，能夠提供高精度、高可靠性的測(cè)試結(jié)果，為微電子器件的研發(fā)和應(yīng)用提供有力支持。

高低溫載物臺(tái)Thermo chuck探針臺(tái)卡盤

是一種用于微電子器件測(cè)試的重要設(shè)備，也被稱為探針臺(tái)載物臺(tái)。它可以在高低溫環(huán)境下進(jìn)行微電子器件的測(cè)試，因此具有高可靠性和高精度。是一款溫度范圍為-65℃到200℃氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)，主要由氣冷高低溫卡盤和氣冷溫控器組成。系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、純空氣制冷、高溫度精度與穩(wěn)定性控制等特性，廣泛應(yīng)用于八英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體器件或晶圓的變溫電學(xué)性能關(guān)鍵參數(shù)分析，如：功率器件建模測(cè)試、晶圓可靠性評(píng)估、生產(chǎn)型變溫檢測(cè)，變溫光電測(cè)試、射頻變溫測(cè)試等。

特征:

• 僅使用空氣冷卻—無液體或帕爾貼元件

• 溫度范圍為-65℃到200℃

• 模塊化系統(tǒng)，適合單獨(dú)測(cè)試的需要

• 冷卻劑占地面積小，節(jié)省空間

• 兼容各大主流生產(chǎn)型或分析型探針臺(tái)

• 可集成全套的軟硬件于一體

型號(hào) TC-A200    TC-A300

溫度范圍 -65℃→+200℃；

可選300℃、400℃ 溫度均勻性 <±0.5℃@<100℃；±0.5%@>100℃

溫控系統(tǒng)分辨率 ±0.01℃

溫度穩(wěn)定性 ±0.1℃

表面平整度 <±8μm@-60℃→+200℃；<±15μm@200℃→+300℃

溫控方式 電加熱/潔凈壓縮空氣（CDA）冷卻

表面材料 鍍鎳（可選鍍金）

速度：1小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，24小時(shí)內(nèi)提供實(shí)施方案。

專業(yè)：多名工程師與熱流儀Temperature Cycling System相伴10多年。

維修：原廠標(biāo)準(zhǔn)服務(wù)。

料件：原廠品牌料件。

保障：提供交換式維修。

信息：設(shè)備檔案更新與備份，做客戶設(shè)備的管家。