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臥式甩干機(jī)SA-SV702-D

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱首昂光電(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/10/25 23:30:31
  • 訪問次數(shù)104
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首昂光電(上海)有限公司十五年深耕激光設(shè)備研發(fā),十五年扎根半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用,造就了首昂光電深厚的技術(shù)沉淀以及的行業(yè)視角,我們一直致力于把更好的激光與自動(dòng)化技術(shù)帶入半導(dǎo)體行業(yè)。作為批將激光應(yīng)用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的者,公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)正積極將激光技術(shù)應(yīng)用到更寬廣的半導(dǎo)體領(lǐng)域,助力中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)走向與自主可控。公司已儲(chǔ)備大量基礎(chǔ)加工技術(shù),正穩(wěn)步推進(jìn)一系列擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新工藝、新應(yīng)用,在多個(gè)關(guān)鍵制程設(shè)備上達(dá)到行業(yè)水平,實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代。
晶圓激光切割機(jī)
臥式甩干機(jī)SA-SV702-D為本公司針對(duì)4~6”制程之需求,可控制0.3微塵顆粒70顆,其功能主要有清洗,高速脫水,低速烘干
臥式甩干機(jī)SA-SV702-D 產(chǎn)品信息

臥式甩干機(jī)SA-SV702-D

為本公司針對(duì)4~6”制程之需求,可控制0.3微塵顆粒70顆,其功能主要有清洗,高速脫水,低速烘干。


技術(shù)參數(shù):

1、設(shè)備用于4~6英寸硅片甩干工藝。

2、每批處理晶圓數(shù)量為50片,25片/腔體。

3、甩干機(jī)為上下雙工藝腔體設(shè)計(jì),腔室內(nèi)部為不銹鋼,特殊工藝可依據(jù)客戶要求鍍特氟龍防腐鍍層。

4、轉(zhuǎn)子的動(dòng)平衡為片盒中的硅片從0~25片。

5、建議轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。 

6、顆粒度增加值<70 (0.3 um) ; 甩干后表面無水漬、無污染物。

用于4寸~6寸晶片的清洗甩干,能根據(jù)客戶定制各種規(guī)格。

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