1、主要特點

• 數(shù)字化系統(tǒng)協(xié)同設(shè)計、MEMS工藝制造

• SiO₂層絕緣隔離擴散硅敏感電橋

• 特殊功能結(jié)構(gòu)和材料

• 適應高寬工作溫度范圍

• 適應與硅、玻璃兼容的介質(zhì)環(huán)境

• 表壓、絕壓、差壓類型齊全

  
  

• 覆蓋低、中、高寬壓力量程范圍

• 小型化尺度適應發(fā)動機、風洞絕緣氣、液體動態(tài)壓力的“原位”或“亞原位”測

2 、主要性能技術(shù)指標

序號	項目	規(guī)格指標					備注
1	特殊種類	耐高溫沖擊	耐腐蝕	探針型		扁平型
2	壓力類型	表壓、絕壓、		差壓
	基準壓力量程	100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa、40MPa、60MPa、100MPa、		100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa			1*
	量程過載能力	≥2倍基準量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基準量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基準量程（≥60MPa）					2*
3	橋路電阻	1～3kΩ				3～5kΩ
5	零點輸出	≤ ±5mV					3*
6	滿量程輸出	＞50 mV（典型值）					3*
7	準確度	≤ ±0.25%FS （典型值）± 0.5%FS（值）					3*、4*
8	靈敏度對稱性	≤ ±0.3%FS（差壓）					4*
	固有頻率	＞100kHz	＞10kHz	＞150kHz
9	工作溫度范圍	-55℃～+540℃	-55℃～+180℃	-55℃～+235℃		-55℃～+273℃	5*、1*
10	熱零點漂移	≤ 1.5%FS/55℃					5*、6*
11	熱靈敏度漂移	≤1.5%F.S /55℃					5*、6*
12	短期穩(wěn)定性	≤±0.03%FS/8h					3*
13	長期穩(wěn)定	＜±0.1%FS/年
14	激勵電源	恒流1～1.5mA,或恒壓5V～10V
15	電氣連接形式	4纜線
16	典型接口尺寸	M5×0.8（mm）	≤Φ20（mm）		≤Φ2（mm）	≤2 ×2、≤Φ3（mm）	7*、1*

 注：1^*. 可用戶定制；                             2^*. 100MPa量程過載為本量程上限；

        3^*. 5VDC恒壓激勵，恒溫25℃；     4^*. 非線性算法為最小二乘法；                    

             5^*.外無源補償后的熱漂移;                 6^*. 55℃溫區(qū)為-30～25℃或25～80℃；

注：可提供定制服務，如有需求請與營銷人員聯(lián)系。