一、設(shè)備外觀

二、設(shè)備參數(shù)

夾具：

針對(duì)不同測(cè)量專用夾具適合范圍：測(cè)量玻璃，硅片，薄膜等透明或半透明物體的位移與厚度。可測(cè)量非透明物體。精度5nm（采樣頻率可達(dá)10k赫茲；一個(gè)控制器最多同時(shí)連接4個(gè)探頭?？蓽y(cè)量夾層玻璃，可同時(shí)測(cè)量10層。雙頻率模式，可準(zhǔn)確測(cè)量上下表面反射率不一樣的玻璃。對(duì)不同反射率的產(chǎn)品，可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光照強(qiáng)度，保證測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。高精度，高分辨率。20多種探頭，滿足幾乎所有行業(yè)的測(cè)量需求，且使用壽命長。

三、設(shè)備優(yōu)勢(shì)
1、產(chǎn)品大小通用：可測(cè)量200x150mm范圍以內(nèi)零件，以可根據(jù)被測(cè)件大小定制更大規(guī)格的機(jī)型；
2、測(cè)量產(chǎn)品間距可調(diào)：測(cè)量范圍根據(jù)工作大小任意可調(diào)，多個(gè)激光測(cè)頭可以在X和Y方向上智能調(diào)整間距；
3、無損傷測(cè)量：激光非接觸式測(cè)量，保護(hù)工件免受劃痕；
4、測(cè)量精密度：測(cè)量范圍內(nèi)重復(fù)精度小于0.005mm，檢測(cè)平整度精度0.01mm；
5、測(cè)量方式多樣化：可實(shí)現(xiàn)對(duì)平面的多點(diǎn)掃描或線掃描，一次性數(shù)據(jù)采集后通過專業(yè)軟件計(jì)算，實(shí)時(shí)給出平面度平整度，翹曲度等測(cè)量判定,檢測(cè)速度0.5秒/點(diǎn)；
6、操作方便簡單，無需專業(yè)培訓(xùn)。