智能氣路控制儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器,來(lái)進(jìn)行多種氣體混合,濃度稀釋的一種裝置??筛鶕?jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍,并利用軟件進(jìn)行控制。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
? 流量監(jiān)測(cè)、記錄 ? 自動(dòng)多段進(jìn)氣
? 濃度自動(dòng)配比 ? 多種氣體可選
? MFC 故障監(jiān)測(cè) ? 超壓檢測(cè)與報(bào)警處理
? 無(wú)線通訊控制(可定制) ? 手機(jī)APP監(jiān)測(cè)(可定制)
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 智能氣路控制儀 | |
項(xiàng)目 | 參數(shù) | 備注 |
流量范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制,至大量程不超過(guò)30SLM) |
精度 | ±1%F.S. | 其他精度可選 |
響應(yīng)時(shí)間 | 2秒 | |
重復(fù)性 | 0.2%F.S. | 單路重復(fù)精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 標(biāo)配,位于總出氣口,常閉截止閥 |
整機(jī)尺寸 | 490mm×500mm×200mm | 深×寬×高 |
供電電壓 | 220VAC | 100W |
單項(xiàng)功能 | √ | 4路標(biāo)配,位于混氣前,避免氣體返流 |
自動(dòng)進(jìn)氣 | √ | 4路標(biāo)配,按時(shí)間和流量自由編輯 10段數(shù)據(jù)點(diǎn),3組數(shù)據(jù)切換,任意循環(huán)(定制) 可實(shí)現(xiàn):濃度配氣,時(shí)間配氣,壓力配氣 |
自動(dòng)報(bào)警 | √ | 標(biāo)配,自動(dòng)報(bào)警,自動(dòng)關(guān)斷,實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備狀態(tài) |
數(shù)據(jù)處理 | √ | 標(biāo)配,數(shù)據(jù)記錄保存,導(dǎo)出到U盤進(jìn)行存儲(chǔ) |
外接通訊 | 可選 | MODBUS-RTU |
漏率 | <1×108atm.cc /sec He | |






















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