全自動雙軸切割系統(tǒng)
ADT 8020切割機(jī)有兩個(gè)對向的主軸,可同時(shí)切割晶圓,且產(chǎn)量高。這種高精度系統(tǒng)可切割直徑8"的工件,性能高,運(yùn)行成本低。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
靈活:支持3"外徑的輪轂和無輪轂刀片1.8kW或2.4 kW高功率主軸(適合嚴(yán)苛應(yīng)用)
高級視覺系統(tǒng),支持連續(xù)變焦縮放
19英寸觸摸屏顯示器,直觀操作界面
易于使用
8020使用ADT直觀的新圖形用戶界面(NUI)進(jìn)行操作,配備了兩個(gè)觸摸屏:19"主屏幕和17"維護(hù)屏。維護(hù)屏協(xié)助執(zhí)行系統(tǒng)設(shè)置過程、刀片更換和基本的維護(hù)操作。
其它主要特性
氣懸浮軸(X)快速自動對齊和切割定位,提高產(chǎn)量
自動刀痕檢測和質(zhì)量分析,實(shí)現(xiàn)精度
流程數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計(jì)分析
使用鎖定式主軸,更換刀片快速簡單
SECS/GEM平臺就緒
可接近系統(tǒng)所有區(qū)域,便于維護(hù)
主要應(yīng)用
硅圓片/分立器件碳化硅(SiC)
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)
表面聲波元件
玻璃晶片
封裝(QFN、LED等)




















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