傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例電磁閥（未通電時關(guān)閉）
目標(biāo)氣體（* 1）		N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未記載的氣體換算成N2進(jìn)行校正）
流量范圍（* 2）		10 SCCM~10 SLM	20~50SLM （CO2：20~30 SLM）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2％F.S.)
		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度（* 3）		±1.0%F.S.
再現(xiàn)性		±0.25%F.S.
動作壓差（* 4）		50~300 kPa（Ar，CO2：100~300 kPa）	100~300 kPa（Ar，CO2：150~300 kPa）
入口壓力		500kPa(G)
耐壓		980kPa(G)
He泄漏率（* 5）		1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下
溫度	使用溫度	5～50℃
	精度保證溫度	15～35℃
	允許儲存溫度	-10～60℃
允許工作濕度		10～90%RH （無結(jié)露）
氣體接觸材料		SUS316、SUS316L、磁性不銹鋼、Ni、PTFE、PCTFE、FKM
電氣連接		D-sub 15引腳 公頭 高密度型，HR-10A×2
流量設(shè)定信號		0~5 VDC（輸入電阻：約1MΩ）or4～20mA（輸入電阻:約250Ω）
流量輸出信號		0~5 VDC（負(fù)載電阻：10kΩ以上)or4～20mA（負(fù)載電阻:500Ω以下)
數(shù)字通信		使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)或顯示屏設(shè)置地址：最多99臺（9600 bps）
活動輸入		接點(diǎn)輸入×3個（非絕緣）
活動輸出		NPN開路集電極×3個（非絕緣，額定值35 V，50 mA）
所需電源（DC）		+ 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub）
接頭（* 6）		1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4
安裝姿勢		推薦水平方向
重量（* 9）		約950g	約1100g

（* 1）應(yīng)為干燥氣體，無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。

（* 2）流量校準(zhǔn)單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

（* 3）對于流量范圍（滿量程）的精度。

（* 4）操作壓差可能因規(guī)格而異。

（* 5）不包括滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

（* 6）如需其他接頭，請另行詢問。

（* 7）不含接頭的重量。