傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例電磁閥（未通電時關(guān)閉）
目標(biāo)氣體（* 1）		多氣體： N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2）
流量范圍（* 3）		10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2）
控制范圍		2至100％（F.S.）
反應(yīng)能力（* 4）		總流量控制范圍在1秒內(nèi)（±2％F.S.）
		L：50kPa~149kPa　H:150kPa~300kPa
精度（* 5）		±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.）
再現(xiàn)性		±0.25％FS
工作壓差（* 6）		50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa）
入口壓力		500kPa（G）
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率（* 7）		1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
溫度	允許周圍溫度	5～50℃
	精度保證溫度	15～35℃
	允許儲存溫度	-10～60℃
允許環(huán)境濕度		10～90%RH （無結(jié)露）
氣體接觸材料		SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM
電氣連接		D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），RJ-45模塊化插孔x 2
流量設(shè)定信號		0至5 VDC（輸入阻抗約1MΩ）
流量輸出信號		0至5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ或更高）
數(shù)字通信		使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：最多99（9600 bps）
所需電源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接頭（* 8）		1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4
安裝姿勢		推薦水平方向
重量（* 9）		約850g

（* 1）應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。

（* 2）使用專用軟件，可以更改氣體類型或?qū)M量程范圍更改為滿量程（FS）的30％至100％（CO2的30％至80％） 。

（* 3）流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1個大氣壓下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

（* 4）校準(zhǔn)氣體：保證N2。

（* 5）校準(zhǔn)氣體：N2，流量范圍精度（滿量程）。

（* 6）工作壓差可能因規(guī)格而異。

（* 7）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

（* 8）如需其他接頭，請另行詢問。

（* 9）沒有配件的重量。