該裝置是配有波紋管密封針閥的流量計(jì)，設(shè)計(jì)用于承受高真空，高壓，高溫，有毒氣體等的使用。
- 所有產(chǎn)品均使用氦氣檢漏儀進(jìn)行泄漏檢測(cè)，因此具有高度可靠的泄漏檢測(cè)能力。
- 因?yàn)槭遣y管密封型裝置，不存在針閥軸泄漏的可能性。
- 流體接觸部分的材料只使用SUS316、氟樹(shù)脂、氟橡膠和硬質(zhì)玻璃，因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性
- 具有高精度再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的流量計(jì)，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋導(dǎo)向流量計(jì)管和超精密球組成，裝設(shè)有流暢流量特性的精密針閥。
用途
- 用于真空設(shè)備
- 用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線
使用示例
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 氣體 | 流體 | ||
|---|---|---|---|
| 流體名稱(chēng) | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實(shí)際氣體校準(zhǔn)） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn)，實(shí)際氣體校準(zhǔn)請(qǐng)另行咨詢(xún) ※選項(xiàng)：2種流體刻度 | 標(biāo)準(zhǔn)流體（H2O） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn) （但是，會(huì)產(chǎn)生與實(shí)際液體的誤差。） | |
| 流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（參考容量列表） ※選項(xiàng)：0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1～1L / MIN（參考容量列表） ※選項(xiàng)：0.5~3ML / MIN | |
| 精度 | FS±2％（計(jì)量點(diǎn)）※選項(xiàng)：FS±1％（計(jì)量點(diǎn)） | FS±2％（計(jì)量點(diǎn)） | |
| 耐壓 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa | 5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※選項(xiàng)20：1 | ||
| 材質(zhì) | SS制 | |
|---|---|---|
| 主體區(qū)塊 | SUS316 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡膠 | |
| 浮標(biāo) | 硬質(zhì)玻璃，SUS316 | |
| 保護(hù)罩 | 丙烯 | |
| 使用溫度 | 60℃ | |
| 連接端口 | 1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/8 F 900（可選），1/4 UJR（選項(xiàng)）* O形密封圈的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格（可選配焊接密封） | |
容量列表
可選規(guī)格
- F.S. ±1％（計(jì)量點(diǎn)）
- 0.5~3ML / MIN空氣（大氣壓）規(guī)格
注）全長(zhǎng)為120mm的情況。 - 全氟醚橡膠O型圈規(guī)格
注）沒(méi)有用于關(guān)閉針部的O型圈。
注）氣體1L / MIN以下無(wú)過(guò)濾器。 - 雙刻度規(guī)格
- 20：1刻度規(guī)格
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