產(chǎn)品特點(diǎn):
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規(guī)格參數(shù):
| 技術(shù)規(guī)格 | TH-8212 |
| 激光器 | 華日/SP紫外納秒15W |
| 加工速度 | 2000-3000mm/s |
| 運(yùn)用領(lǐng)域 | 晶圓表面開(kāi)槽光刻 |
| 上下料方式 | 全自動(dòng)模組 |
| 劃片速度 | 2000-3000mm/s |
| 對(duì)位方式 | 輪廓定位/模板匹配 |
| 視覺(jué)處理 | 灰度匹配 |
| X軸移動(dòng)范圍 | 280mm |
| Y軸移動(dòng)范圍 | 180mm |
| θ軸 | 360deg |
| 開(kāi)槽深度 | ≤10um |
| 邊緣毛刺 | ≤5um |
| 平臺(tái)水平度 | 5-15um |
| 激光器 | 華日/SP紫外納秒15W |




















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