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JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱廣州文明機(jī)電有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地廣州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/12/16 7:29:57
  • 訪問(wèn)次數(shù)74
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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廣州文明機(jī)電有限公司,簡(jiǎn)稱GZ CVL(GZ Civil Mechatronic)成立于2006年,是業(yè)內(nèi)的企業(yè),由留學(xué)歸國(guó)的北京大學(xué)博士后和華南師范大學(xué)MBA班學(xué)生共同創(chuàng)辦,擁有數(shù)十項(xiàng),為廣東省科技型中小企業(yè),屬國(guó)家與專精特新培育企業(yè)。十幾年來(lái),我們一直專注的領(lǐng)域包括科學(xué)儀器、汽車測(cè)試儀器、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備、測(cè)試測(cè)量與控制、嵌入式開(kāi)發(fā)工具和軟件工程?!癎Z CVL”始終堅(jiān)持品牌化經(jīng)營(yíng)戰(zhàn)略,以服務(wù)為基礎(chǔ),以質(zhì)量求生存,以管理求發(fā)展,秉承一切以客戶為中心的服務(wù)理念。憑借多年來(lái)客戶的信任和支持,“GZ CVL”積累了豐富的營(yíng)銷及安裝經(jīng)驗(yàn),是一家擁有的管理,的技術(shù)、高水平的營(yíng)銷和*的售后服務(wù)為一體化的專業(yè)化測(cè)試及分析儀器設(shè)備公司。工業(yè)推動(dòng)中國(guó),創(chuàng)新感動(dòng)世界,GZ CVL以“創(chuàng)、建百年企業(yè)”為奮斗目標(biāo),積極促進(jìn)“中國(guó)制造”向“中國(guó)創(chuàng)造”的轉(zhuǎn)變。公司以“科技開(kāi)創(chuàng)未來(lái)”為宗旨,以專業(yè)技術(shù)為核心,以優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為先導(dǎo),為我國(guó)測(cè)試及分析技術(shù)發(fā)展做貢獻(xiàn),努力實(shí)現(xiàn)中國(guó)工業(yè)騰飛。 廣州文明依靠國(guó)內(nèi)外測(cè)試和分析儀器設(shè)備領(lǐng)域多家國(guó)際化大公司以及中山大學(xué)、華南理工大學(xué)的*實(shí)力,代理專業(yè)測(cè)試分析儀器設(shè)備,開(kāi)展相關(guān)技術(shù)培訓(xùn),自主研發(fā)配套軟硬件,并提供的系統(tǒng)解決方案。公司具有持續(xù)的自主創(chuàng)新能力和科研成果轉(zhuǎn)讓或者產(chǎn)業(yè)化的實(shí)力,核心產(chǎn)品包含:新能源汽車測(cè)試臺(tái)架,空燃比分析儀,尾氣分析儀,掃描電鏡,熱分析儀,光譜分析儀,質(zhì)譜分析儀等。"GZ CVL" 和 "希為爾"為廣州文明機(jī)電有限公司所擁有的兩個(gè)注冊(cè)商標(biāo)。本公司是日本HORIBA,日本Lineeye,美國(guó)Applus, 美國(guó)Innovate,美國(guó)midtronics,瑞典Kvaser,英國(guó)PICO,日本電子捷歐路(JEOL),德國(guó)林賽斯、韓國(guó)K LAB等公司的中國(guó)代理和經(jīng)銷商。GZ Civil Mechatronic Co. Ltd.(), founded on 2006.It is a well-known enterprise in the industry, focus on test and analytical instruments R & D, manufacture and sales. Our company is committed to carry out the relevant technical training, independent research and development of automotive and industrial automation system, and provide the most effective system solutions. Our core products include: Automotive teaching training equipment, engine power test system, automobile oscilloscope, exhaust gas analyzer etc. 所獲榮譽(yù):一、廣州市科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金二、“LM-2空燃比測(cè)試儀”榮獲“全國(guó)20佳維修工具”獎(jiǎng)三、汽車示波器 3423-kit榮獲“全國(guó)20佳維修工具”獎(jiǎng)四、“立富L總線分析儀”榮獲“全國(guó)20佳維修工具”特別獎(jiǎng)五、廣東省“優(yōu)秀信用企業(yè)”六、阿里巴巴誠(chéng)信通會(huì)員七、慧聰網(wǎng)買賣通會(huì)員八、具有外貿(mào)進(jìn)出口權(quán)九、是增值稅一般納稅人十、自有商標(biāo)品牌十一、廣東省科技型中小企業(yè)
高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng),通過(guò)的設(shè)計(jì)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)更簡(jiǎn)便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節(jié)能。
JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng),通過(guò)的設(shè)計(jì)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)更簡(jiǎn)便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節(jié)能。


◇ 節(jié)省空間

標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)備占地面積為4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往機(jī)型占用空間更小,外形更加緊湊美觀。

◇ 低功耗

正常工作時(shí)的功耗約為3kVA,僅需以往機(jī)型耗電量的1/3。

◇ 高產(chǎn)能

具備高分辨率和高速兩種刻寫模式,非常適用于超微細(xì)加工以及批量生產(chǎn)。該設(shè)備減少了刻寫過(guò)程中的無(wú)謂耗時(shí),并將掃描頻率提升至業(yè)界最水準(zhǔn)的125MHz (以往機(jī)型的1.25~2.5倍),使其具備更高的生產(chǎn)能力。

◇ 機(jī)型

JBX-8100FS系列設(shè)有G1(基本版)和G2(全配版)兩種機(jī)型。G1機(jī)型裝機(jī)后也可進(jìn)行升級(jí),使其支持更高的應(yīng)用需求。

◇ 新功能

安裝光學(xué)顯微鏡(選配)后,在避免光刻膠感光的的同時(shí)可對(duì)材料上的圖形進(jìn)行確認(rèn)。設(shè)備還配備了信號(hào)塔(標(biāo)配),實(shí)現(xiàn)了視覺(jué)范圍內(nèi)的系統(tǒng)運(yùn)行狀況監(jiān)控。

◇ 激光定位分辨率

采用分辨率為0.6nm的激光干涉儀,對(duì)樣品臺(tái)位置進(jìn)行高精度的量測(cè)控制。

◇ 系統(tǒng)控制

配備了Linux®系統(tǒng),圖形用戶界面使操作更加簡(jiǎn)單,便于初學(xué)者使用。數(shù)據(jù)準(zhǔn)備程序支持Linux®和Windows®


備注:
Linux® 為L(zhǎng)inus Torval在日本及其它國(guó)家的注冊(cè)商標(biāo)或商標(biāo)。
Windows為美國(guó)微軟公司在美國(guó)及其它國(guó)家的注冊(cè)商標(biāo)或商標(biāo)。

主要技術(shù)指標(biāo)

機(jī)型

G1 (基本版)

G2 (全配版)

描畫方式

圓形束斑, 矢量掃描, 步進(jìn)重復(fù)移動(dòng)方式

加速電壓

100kV

100kV/50kV

電流

5×10-12 ~ 2×10-7A

寫場(chǎng)尺寸

1,000μm×1,000μm

2,000μm×2,000μm 

掃描頻率

125MHz

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍

190mm×170mm

套刻精度

≦±9nm

場(chǎng)拼接精度

≦±9nm

正常工作時(shí)的功耗

3kVA

樣品尺寸

200mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版及任意尺寸的的微小樣品。

材料傳送

(1張)自動(dòng)裝載系統(tǒng)

(12張)自動(dòng)裝載系統(tǒng)

主要選配件

光學(xué)顯微鏡
  
25kV加速電壓
  
數(shù)據(jù)準(zhǔn)備程序的追加

關(guān)鍵詞:光學(xué)顯微鏡
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