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JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)廣州文明機(jī)電有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地廣州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/12/16 7:31:25
  • 訪問(wèn)次數(shù)102
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廣州文明機(jī)電有限公司,簡(jiǎn)稱(chēng)GZ CVL(GZ Civil Mechatronic)成立于2006年,是業(yè)內(nèi)的企業(yè),由留學(xué)歸國(guó)的北京大學(xué)博士后和華南師范大學(xué)MBA班學(xué)生共同創(chuàng)辦,擁有數(shù)十項(xiàng),為廣東省科技型中小企業(yè),屬?lài)?guó)家與專(zhuān)精特新培育企業(yè)。十幾年來(lái),我們一直專(zhuān)注的領(lǐng)域包括科學(xué)儀器、汽車(chē)測(cè)試儀器、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備、測(cè)試測(cè)量與控制、嵌入式開(kāi)發(fā)工具和軟件工程?!癎Z CVL”始終堅(jiān)持品牌化經(jīng)營(yíng)戰(zhàn)略,以服務(wù)為基礎(chǔ),以質(zhì)量求生存,以管理求發(fā)展,秉承一切以客戶(hù)為中心的服務(wù)理念。憑借多年來(lái)客戶(hù)的信任和支持,“GZ CVL”積累了豐富的營(yíng)銷(xiāo)及安裝經(jīng)驗(yàn),是一家擁有的管理,的技術(shù)、高水平的營(yíng)銷(xiāo)和*的售后服務(wù)為一體化的專(zhuān)業(yè)化測(cè)試及分析儀器設(shè)備公司。工業(yè)推動(dòng)中國(guó),創(chuàng)新感動(dòng)世界,GZ CVL以“創(chuàng)、建百年企業(yè)”為奮斗目標(biāo),積極促進(jìn)“中國(guó)制造”向“中國(guó)創(chuàng)造”的轉(zhuǎn)變。公司以“科技開(kāi)創(chuàng)未來(lái)”為宗旨,以專(zhuān)業(yè)技術(shù)為核心,以?xún)?yōu)質(zhì)產(chǎn)品為先導(dǎo),為我國(guó)測(cè)試及分析技術(shù)發(fā)展做貢獻(xiàn),努力實(shí)現(xiàn)中國(guó)工業(yè)騰飛。 廣州文明依靠國(guó)內(nèi)外測(cè)試和分析儀器設(shè)備領(lǐng)域多家國(guó)際化大公司以及中山大學(xué)、華南理工大學(xué)的*實(shí)力,代理專(zhuān)業(yè)測(cè)試分析儀器設(shè)備,開(kāi)展相關(guān)技術(shù)培訓(xùn),自主研發(fā)配套軟硬件,并提供的系統(tǒng)解決方案。公司具有持續(xù)的自主創(chuàng)新能力和科研成果轉(zhuǎn)讓或者產(chǎn)業(yè)化的實(shí)力,核心產(chǎn)品包含:新能源汽車(chē)測(cè)試臺(tái)架,空燃比分析儀,尾氣分析儀,掃描電鏡,熱分析儀,光譜分析儀,質(zhì)譜分析儀等。"GZ CVL" 和 "希為爾"為廣州文明機(jī)電有限公司所擁有的兩個(gè)注冊(cè)商標(biāo)。本公司是日本HORIBA,日本Lineeye,美國(guó)Applus, 美國(guó)Innovate,美國(guó)midtronics,瑞典Kvaser,英國(guó)PICO,日本電子捷歐路(JEOL),德國(guó)林賽斯、韓國(guó)K LAB等公司的中國(guó)代理和經(jīng)銷(xiāo)商。GZ Civil Mechatronic Co. Ltd.(), founded on 2006.It is a well-known enterprise in the industry, focus on test and analytical instruments R & D, manufacture and sales. Our company is committed to carry out the relevant technical training, independent research and development of automotive and industrial automation system, and provide the most effective system solutions. Our core products include: Automotive teaching training equipment, engine power test system, automobile oscilloscope, exhaust gas analyzer etc. 所獲榮譽(yù):一、廣州市科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金二、“LM-2空燃比測(cè)試儀”榮獲“全國(guó)20佳維修工具”獎(jiǎng)三、汽車(chē)示波器 3423-kit榮獲“全國(guó)20佳維修工具”獎(jiǎng)四、“立富L總線分析儀”榮獲“全國(guó)20佳維修工具”特別獎(jiǎng)五、廣東省“優(yōu)秀信用企業(yè)”六、阿里巴巴誠(chéng)信通會(huì)員七、慧聰網(wǎng)買(mǎi)賣(mài)通會(huì)員八、具有外貿(mào)進(jìn)出口權(quán)九、是增值稅一般納稅人十、自有商標(biāo)品牌十一、廣東省科技型中小企業(yè)
JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。
JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。

此外,由于具有100MHz的掃描速度,場(chǎng)尺寸在1000µm×1000µm時(shí)的套刻精度達(dá)到±11nm、場(chǎng)拼接精度為±10nm、寫(xiě)場(chǎng)內(nèi)位置精度達(dá)±9nm,是兼具高水準(zhǔn)產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。

由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位,掃描DAC為14位,能獲得0.25nm的掃描步距,分辨率更高,描畫(huà)數(shù)據(jù)增長(zhǎng)1nm,可以更忠實(shí)地再現(xiàn)描畫(huà)數(shù)據(jù)。

達(dá)到100MHz的高速化掃描速度,保證了大電流描畫(huà)時(shí)的掃描步距很短,因而能提高對(duì)精度要求的圖形描畫(huà)的產(chǎn)出量。

由激光束控制(LBC)的0.15nm(λ/4096)的最小定位單位及高分辨率,達(dá)到了高水準(zhǔn)的位置精度。

本公司獨(dú)自的自動(dòng)校正功能(自動(dòng)補(bǔ)償功能),實(shí)現(xiàn)了可信賴(lài)的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地描畫(huà)。自動(dòng)補(bǔ)償可以根據(jù)時(shí)間(任意的)、場(chǎng)和圖形進(jìn)行分別設(shè)定,非常適合于周末及休假等無(wú)人值守等情況下的長(zhǎng)時(shí)間描畫(huà)。

該系統(tǒng)能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版,適合于納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等各種領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)(選配),最多可裝載10個(gè)卡匣。

利用微間距控制程序(場(chǎng)尺寸微調(diào)程序)可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

電子槍ZrO/W 肖特基型
描畫(huà)方式圓形束, 矢量掃描, 步進(jìn)重復(fù)式
加速電壓100kV
樣品尺寸 樣品尺寸 (可以安裝): 300mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。
場(chǎng)尺寸1000µm×1000µm
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍260mmX240mm
樣品臺(tái)控制單元0.15nm(λ/4096)
套刻精度≦±11nm
場(chǎng)拼接精度≦±10nm (場(chǎng)尺寸為1000µm×1000µm)
寫(xiě)場(chǎng)內(nèi)位置精度≦±9nm(場(chǎng)尺寸為1000µm×1000µm)
定位DAC20位
掃描速度 100MHz
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