專業(yè)定制玫爾恒溫恒壓冷水機組廠家
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機組功能
1.恒溫恒壓冷水機組控制系統(tǒng)是由玫爾公司自主研發(fā),專業(yè)對準半導體芯片生產(chǎn)行業(yè),主要對芯片生產(chǎn)設備降溫供水的應用
2.恒壓供水機組能自動24小時維持恒定壓力,并根據(jù)壓力信號自動調(diào)節(jié)水壓,無級調(diào)整壓力,供水壓力恒定,供水溫度恒定。
3.供水壓力平滑,減少電機水泵的沖擊,延長了電機及水泵的使用壽命,避免了傳統(tǒng)供水中的水錘現(xiàn)象。采用變頻恒壓供水保護功能齊全,運行可靠,具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功
4.系統(tǒng)配置可實現(xiàn)全自動定時供水,*實現(xiàn)無人值守自動供水.PLC編程、彩色觸摸屏控制系統(tǒng)具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉換,應急供水。
5.系統(tǒng)根據(jù)用戶用水量的變化來調(diào)節(jié)水泵轉速,使水泵始終工作在高效區(qū),當系統(tǒng)零流量時,機組進入休眠狀態(tài),水泵停止,流量增加后才進行工作,節(jié)電效果明顯,比恒速水泵節(jié)電23%-55%
6.變頻恒壓供水設備不設樓頂水池,既減少建筑物的造價,又克服了水源二次污染。
7.整套設備組合在一套箱殼內(nèi),外形美觀,安裝非常方便,占地面積少。
8.本設備采用全自動控制,操作人員只需啟動、停止設備,就可以實現(xiàn)用戶所需工況,操作簡
二.系統(tǒng)組成
1.本機組為冷凍水循環(huán)系統(tǒng),采用多臺全封閉渦旋壓縮機組成制冷降溫系統(tǒng),不銹鋼多級高壓水泵配合三菱變頻器組合成冷凍水供水系統(tǒng)。冷卻塔、冷卻水泵組合成冷卻水供水系統(tǒng)。
○.水塔和制冷主機稱為冷卻水循環(huán),此循環(huán)為自來水,為制冷主機散熱冷卻;
○.制冷主機與儲水箱之間為內(nèi)部循環(huán),此循環(huán)為純凈水,制冷主機把儲水箱內(nèi)的水降到18℃; 溫差0.1℃(恒溫技術采用*)。
○.儲水箱與MOCVD之間的為外部冷凍水循環(huán),此循環(huán)為純凈水,高壓水泵把水箱內(nèi)18℃
2.水經(jīng)精密過濾器后送到MOCVD設備,從設備出來23℃的水回至儲水箱,進入MOCVD設備的入水壓力恒定在在4.5bar,壓力可通過控制面板的設定來調(diào)節(jié)所需的值。
3.冷卻水及其它配件內(nèi)循環(huán)水泵、外循環(huán)水泵、冷卻水塔、冷水儲水箱、變頻器、點壓力變送器、高精密過濾器等組成。
三:恒壓供水工作原理:
1.外循環(huán)變頻恒壓供水系統(tǒng)采用壓力控制器面板設定點壓力(進入2臺設備前的水壓力值),采用2個壓力傳感器(反饋為4~20mA)檢測水管中壓力,壓力傳感器將信號送入變頻器PID回路,PID回路處理之后,送出一個水量增加或減少信號,控制馬達轉速,來調(diào)節(jié)入水的壓力值。
2.如進入2臺MOCVD的壓力不同,控制器的PLC會自動計算出進入2臺MOCVD前的點壓力平均值,再反饋為4~20mA給變頻器的PID回路,盡量使進入2臺MOCVD的入水壓力相同,使實際水管壓力與設定壓力相*。
3.設定值與實際值產(chǎn)偏差可在±0.2bar,進水壓力可恒定在設定值的所允許的范圍內(nèi)(±0.2bar)。
4.當2臺MOCVD的進水壓力過高或過低時,裝在系統(tǒng)管道上的壓差旁通會進自動調(diào)節(jié)水的流向,使進入MOCVD實際水管壓力與設定壓力相*,隨著用水量的減少,變頻器自動減少輸出頻率,達到了節(jié)能的目的。




























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