大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設備用于較大尺寸(尺寸為8英寸)襯底退火處理,設備采用電阻絲為加熱元件,保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型,保溫性能好,電阻絲為內嵌式一體成型,美觀、節(jié)能;該設備還集成了真空以及供氣系統(tǒng),滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管,滿足高溫工作條件,也能滿足真空或者一定的正壓條件實驗要求,是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設備。
設備型號:LFT1200C450D254
額定電壓:380V
額定功率:13KW
溫度:1000℃
額定溫度:900℃
升溫速率:10℃/min
熱電偶類型:K型熱電偶
控溫精度:±1℃
極限真空度(選件):1.0×10-3Pa(機械泵+分子泵)
加熱元件:OCr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)
爐管尺寸(可根據(jù)客戶要求訂制):內徑245*600mm(含管堵)
外型尺寸(長×深×高):1900*700*2100mm




















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