VPS-RF40 中小型真空等離子清洗機簡介:VPS-RF40是一款中小型真空等離子清洗機,廣泛應用于科研院校,企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設備采用品牌高性能旋片真空泵,同時根據(jù)客戶工藝要求,對真空反應腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體。進口高品質等離子發(fā)生器,產(chǎn)生等離子體,并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度,高能量的離子。等離子體能與材料發(fā)生復雜的物理,化學反應,可以實現(xiàn)不同的工藝功能,比如清洗,活化,刻蝕與涂覆等。

VPS-RF40 中小型真空等離子清洗機特點:
(1)等離子清洗機清洗效率高,應用范圍廣;
(2)對清洗樣品,沒有任何外觀尺寸、材質等要求;
(3)在清洗過程中,溫升比較小,基本可達到常溫處理;
(4)射頻功率可無極連續(xù)可調,高效的特制電極是產(chǎn)生均勻等離子體的保證;
(5)過載、過熱和短路保護電路,可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全;
(6)設備采用模塊化設計,安裝與維護都極為簡單。
產(chǎn)品應用:去除表面有機物、提高粘接性、提高表面潤濕性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度
產(chǎn)品參數(shù):
型號 | VPS-RF40 |
等離子頻率 | 13.56MHz自動阻抗匹配 |
腔體材質 | 進口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選) |
真空泵 | 油泵/干泵(可選) |
極限真空 | 5Pa |
功率 | 0-300W(連續(xù)可調) |
腔體尺寸 | 350(L)*400(D)*300(H)mm |
腔體容積 | 40L |
腔體有效處理面積 | 300(L)×310(D)mm |
氣路數(shù)量 | 2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制) |
極板間距 | 35mm(根據(jù)產(chǎn)品尺寸可調) |
處理層數(shù) | 4層 |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
電源 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 680mm(L) X 800m (w) X1500mm (H) |




















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