X60-12旋渦型噴頭:

    旋渦型超聲波噴頭，是一種具有旋風(fēng)圓錐狀噴霧的超聲波霧化噴頭。其采用超聲波霧化噴頭技術(shù)，通過(guò)特殊的渦旋流道設(shè)計(jì)將載氣變換成均勻的旋轉(zhuǎn)氣流，使超聲霧化后的液霧呈旋風(fēng)形式散射噴出，擴(kuò)大了超聲波噴頭的噴涂面積的同時(shí)還可以對(duì)垂直或曲面等帶有角度基材進(jìn)行噴涂。

    散射型超聲波噴頭典型的應(yīng)用是半導(dǎo)體晶圓的光刻膠噴涂，將光刻膠噴涂在半導(dǎo)體晶圓上。由于散射型超聲波噴頭噴出的霧是旋轉(zhuǎn)散射的，故此不僅可以均勻的在晶圓的平面上形成光刻膠薄膜，而且還可以在晶圓微型結(jié)構(gòu)的側(cè)壁及夾角處形成均勻包裹的光刻膠薄膜。除此之外，散射型超聲波噴頭還可應(yīng)用于如薄膜太陽(yáng)能電池噴涂、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池噴涂、AR增透減反射膜噴涂、隔熱薄膜噴涂、超疏水涂層噴涂、PCB助焊劑噴涂等等。

參數(shù)特點(diǎn)：

·噴頭材質(zhì)：TC4鈦合金

·頻率：60KHZ

·功率：0-25W

·噴霧流量：0.01-20ml/min

·噴涂直徑：30-60mm

·噴涂高度：40-120mm

·平均霧化顆粒徑：22µm

·導(dǎo)流氣壓：0.005-0.12mpa

·超聲波控制器：多核數(shù)字處理器