納米級光纖激光干涉尺

一、 產(chǎn)品簡介

光纖激光干涉測量尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的位置檢測設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)非接觸無損傷遠(yuǎn)距離檢測，分辨率達(dá)納米級，是科學(xué)和工業(yè)發(fā)展中的檢測技術(shù)，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，對提升高科技產(chǎn)品加工質(zhì)量起到了關(guān)鍵作用。同時當(dāng)代激光干涉技術(shù)具有靈敏度高、量程大及可適應(yīng)惡劣環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)，光波可以直接對米進(jìn)行定義且容易溯源。基于激光干涉測量的光纖激光尺在非接觸高精度測量領(lǐng)域具有其它測量方法的優(yōu)勢，相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，同時具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，是特別為超高精度位置反饋而設(shè)計的，特別是在光刻機(jī)領(lǐng)域具有明顯應(yīng)用價值。

光纖激光干涉尺是零差激光干涉測量系統(tǒng)，特別為位置反饋應(yīng)用而設(shè)計，安裝快捷，易于準(zhǔn)直，可輕松實(shí)現(xiàn)固有的高分辨率（到10nm）和最小SDE（電子細(xì)分誤差），激光源和探測裝置分離，有效隔離熱源，提高測量穩(wěn)定性。光纖激光干涉尺主要包括激光發(fā)射裝置和干涉測量探頭。激光發(fā)射裝置通過將氦氖激光耦合進(jìn)入保偏光纖中，并用3m長鎧裝光纖引導(dǎo)至光纖準(zhǔn)直裝置，最終與干涉測量探頭配合使用，為干涉測量裝置提供高質(zhì)量光源。激光反射裝置有單軸、雙軸以及三軸三種配置可選，內(nèi)部包括HeNe（氦氖）激光源、用于穩(wěn)頻的電子器件、光纖耦合裝置、光纖傳導(dǎo)裝置和軸位置反饋電子器件等。干涉測量探頭是光學(xué)測量系統(tǒng)的核心，包括干涉儀光學(xué)系統(tǒng)、多通道條紋檢測系統(tǒng)和光束轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)。光纖激光干涉尺提供了三種不同的干涉儀配置，包括角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀。角錐棱鏡干涉儀探頭測量探頭內(nèi)的參考光路和位于測量軸上的角錐反射器目標(biāo)光路之間的相對位移，用于單軸線性測量。平面鏡干涉儀探頭可以確定安裝在探頭內(nèi)的參考光路和位于測量軸上的平面鏡目標(biāo)光路之間的相對位移，實(shí)現(xiàn)光學(xué)倍頻，分辨率更高，尤其適用于XY平臺測量。差分干涉儀探頭測量兩個平面鏡目標(biāo)之間的相對位移，其中一個是固定位置的參考鏡（通常位于工具上），確保了過程關(guān)鍵組件之間的準(zhǔn)確定位，并消除了共模誤差。

二、 功能特點(diǎn)

l 高分辨率輸出，分辨率達(dá)10nm（可拓展）。 l

l 高測量精度，測量精度優(yōu)于0.5ppm，為高精度加工提供精確定位。

l 高穩(wěn)頻精度，可達(dá)0.05ppm（可選配0.02ppm）。

l 測量范圍大，量程可達(dá)4m（可拓展）。

l 激光發(fā)射裝置與測量探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測量設(shè)備，便于安裝，同時還可避免主機(jī)散熱對測量通路的影響。

l 多種輸出信號可選擇，光纖激光尺可輸出正交數(shù)字差分相信號和1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。

l 體積小巧，需要安裝在被測設(shè)備上的干涉探頭尺寸只有 39x76x120mm，只有手掌大小，適合狹小空間安裝。

l 多通道輸出，最多可同時連接三路探頭，實(shí)現(xiàn)多軸同時測量。

l 開放的 API 接口，用戶可以使用 API 接口做二次開發(fā)，更好的使用光纖激光尺。

l 環(huán)境補(bǔ)償功能，一體化的環(huán)境氣象站自動監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù)，實(shí)時補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準(zhǔn)確性。

l 功能*的測量數(shù)據(jù)分析軟件，具有靜態(tài)和動態(tài)測量機(jī)床、光刻機(jī)運(yùn)動平臺、XY平臺等的線性、角度、直線度等測量分析功能；