SiGNUM™系列智能光柵新增FANUC通信接口
SIGNUM™系列產(chǎn)品具有高速、非接觸的性能,還具有IN-TRAC™光學零位等的特性,它正在重新定義光柵性能的新標準。RESM光柵由RESM環(huán)、SR讀數(shù)頭和Si接口組成。RESM是在一個不銹鋼圓環(huán)的柱面上直接刻劃20 µm的柵線。IN-TRAC™光學零位具備雙向重復的性能,工作速度達3600轉(zhuǎn)/分(?52 mm)以上,溫度可達85°C。 SiGNUM™直線光柵集高速、非接觸的性能與動態(tài)信號處理和IN-TRAC™自動調(diào)相光學參考零位等功能于一體;使用極為方便,其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。SiGNUM™還提供圓光柵。
選項
RELM因鋼柵尺的熱膨脹系數(shù)為~0.6 µm/m/°C,有多種長度可供選擇。堅固的因鋼柵尺比玻璃柵尺具有更小的截面尺寸,而且操作和安裝更為簡便,沒有破損的風險。RELM精度為±1 µm,分辨率達5 nm,能夠滿足要求苛刻的精密運動的需求。
RSLM不銹鋼直線柵尺的性能可與精細柵距的玻璃柵尺媲美,有多種長度可供選擇,最長可達5 m。在5 m長度內(nèi)的總體精度(包括斜率誤差和線性誤差) 優(yōu)于±4 μm —達到業(yè)內(nèi)!RSLM可以方便的成卷存放,一旦展開,就可以像直線柵尺一樣使用。此外,該柵尺還具有超低的周期誤差 (±30 nm),是測量精度要求嚴格的長行程應用場合的理想解決方案。
技術
紅外發(fā)光二極管將光線射到柵尺上,它是一種柵距為20 µm的平面反射金屬光柵。柵尺均勻且周期性好,這一點非常重要,但不要求其為優(yōu)質(zhì)的衍射光柵。與RG2和RG4讀數(shù)頭一樣,SiGNUM™讀數(shù)頭光學器件采用對多個光柵周期進行平均的技術,有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去,以在探測器上留下一個的正弦波形。這里使用的是一個多條紋結構,它非常細,能夠產(chǎn)生4個對稱相位信號形式的光電流。這些結合在一起可去除DC器件,并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出,同時保持500 kHz以上的帶寬。
通過主動調(diào)節(jié)各個通道增益、偏置量以及對SiGNUM™讀數(shù)頭內(nèi)LED指示燈燈源進行控制,可使這些信號的平衡和電平控制進一步得到增強。因此,固有周期誤差(電子細分誤差,SDE)僅為±30 nm,相當于0.15%的柵尺刻劃周期。在SiGNUM™ Si接口內(nèi),通過CORDIC算法進行細分。
IN-TRAC™參考零位直接刻劃在增量柵尺上。此特征被光學濾波系統(tǒng)濾除,但被讀數(shù)頭內(nèi)一個分離的光電檢測器檢測到。通過光學感應和門控電路產(chǎn)生參考零位信號,在所有的速度下都具有雙向可重復性。安裝后,相應的模擬通道的相位校準通過接口內(nèi)的邏輯自動執(zhí)行,并提供全面的系統(tǒng)監(jiān)控和安裝幫助。




















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