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MTI proforma300i硅片測(cè)量?jī)x

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霆聯(lián)貿(mào)易(上海)有限公司成立于2004年,和美國(guó)MTI公司合作,在上海成立MTI實(shí)驗(yàn)室,方便廣大用戶了解產(chǎn)品及做相關(guān)測(cè)試。主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品:1:微型拉伸試驗(yàn)機(jī),主要配合掃描電鏡、顯微鏡等使用,用于材料研究。2:激光位移傳感器,非接觸測(cè)量振動(dòng)及位移,可以達(dá)到微米級(jí)別的精度。3:電容位移傳感器,非接觸測(cè)量振動(dòng)及位移,可以達(dá)到納米級(jí)別的精度。4:光纖位移傳感器,費(fèi)解出測(cè)量振動(dòng)及位移,可以達(dá)到納米級(jí)別的分辨率,并且具有500Khz的響應(yīng)速度。5:硅片測(cè)量?jī)x,測(cè)量晶元的厚度、翹曲度、彎曲度等參數(shù)。
抗沖擊試驗(yàn)機(jī)
MTI硅片測(cè)量?jī)x硅片尺寸76-300mm高分辨率LCD顯示快速、易于設(shè)置的菜單5點(diǎn)測(cè)量,厚度變化量以及彎曲度測(cè)量網(wǎng)口以及RS232電腦接口前方的USB接口方便存儲(chǔ)數(shù)據(jù)可達(dá)1700µm的測(cè)量范圍Proforma300iProforma300GiProforma300OEMi1精度2:±0
MTI proforma300i硅片測(cè)量?jī)x 產(chǎn)品信息

                                             MTI硅片測(cè)量?jī)x

 硅片尺寸76-300 mm  高分辨率 LCD 顯示  快速、易于設(shè)置的菜單

5點(diǎn)測(cè)量, 厚度變化量以及彎曲度測(cè)量 網(wǎng)口以及RS232電腦接口 前方的USB接口方便存儲(chǔ)數(shù)據(jù) 可達(dá)1700µm的測(cè)量范圍  




Proforma 300i

Proforma 300Gi

Proforma 300

OEMi 1

精度2:

±0.25 µm

可重復(fù)性3:

±0.25 µm

分辨率:

0.05 µm

電壓輸入 (電壓):

100 to 240VAC

電壓輸入 (頻率):

50 to 60Hz

電力輸入 (功率):

50 W

使用溫度范圍:

15 to 40oC

響應(yīng)時(shí)間:

60ms

客戶指定

尺寸(長(zhǎng)xx):

482x330x279 mm

483x388x89 mm

數(shù)據(jù)接口

RS232, 網(wǎng)口, USB, LCD

RS232, 網(wǎng)口

可支持的材料4:

Si




Ge




InP




GaAs




重量:

12.3 kg

12.4 kg

5.9 kg



  ProformaTM  300i  手動(dòng)晶圓測(cè)量工具

Proforma 300i使用MTI專有的快速、準(zhǔn)確、可靠的非接觸式PUSH-PULL電容探頭。Proforma 300i可測(cè)量直徑是300mm硅片的厚度總厚度變化以及彎曲度


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