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超高真空閥門批發(fā)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海茂碩機械設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2026/1/17 4:09:37
  • 訪問次數(shù)47
產(chǎn)品標簽:

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上海茂碩機械設備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個市場有一批受眾用戶,因業(yè)務發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購進貨,您可以避免國內合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務。

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我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢品牌主要有:

德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費斯托,

德國STEIMEL施*泵,德國HIRSCHMAN赫斯曼,德國HYDAC賀德克,

德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

美國紐曼帝克,美國AB,美國FAIRCHILD仙童,美國DENISON丹尼遜,

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意大利UNIVER氣動,意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

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德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

美國UE壓力開關,美國MTS位移傳感器,

以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關系,所銷產(chǎn)品已廣泛應用于國內各工業(yè)領域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經(jīng)營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產(chǎn)品。

在此歡迎來電垂詢,我們將竭誠為您服務,客戶的滿意,就是我們的成功!

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瑞士VAT UHV系列超高真空閥門以下是關于 VAT UHV系列超高真空閥門 的詳細技術解析,涵蓋其特性、參數(shù)及應用場景,適用于半導體、科研等嚴苛環(huán)境:
超高真空閥門批發(fā) 產(chǎn)品信息

瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

一、UHV系列核心特性

1. 產(chǎn)品定位

  • 類型:全金屬密封超高真空閥(Ultra-High Vacuum Valve)

  • 適用真空范圍

    • 標準版:10?? ~ 10?12 mbar

    • 定制版:可達10?13 mbar(特殊烘烤設計)

  • 核心優(yōu)勢

    • 零泄漏:金屬密封漏率 <1×10?12 mbar="">(He檢漏)。

    • 耐高溫烘烤:閥體可承受 250°C~300°C 烘烤(標準版)/ 450°C(定制版)。

    • 無有機材料:全金屬結構,避免放氣污染。

2. 設計

  • 雙密封系統(tǒng):主密封(金屬刀口) + 次級密封(彈性補償)。

  • 低扭矩驅動:磁耦合或波紋管傳動,避免軸封泄漏。

  • 材料純度:316L不銹鋼(EP級電解拋光),表面粗糙度<0.8μm。<>


二、型號分類與技術參數(shù)

1. 型號命名規(guī)則(以VAT UHV 24為例)

代碼段含義
UHV系列名稱(超高真空閥)
24通徑尺寸(24=DN40,54=DN100)
后綴驅動方式(如-M=手動,-A=氣動)

2. 子型號對比表

型號通徑法蘭類型驅動方式漏率烘烤溫度價格范圍(¥)
VAT UHV 24-ADN40CF-F氣動<1×10?12 mbar="">250°C50,000~80,000
VAT UHV 54-MDN100ISO-K手動<1×10?12 mbar="">300°C120,000~180,000
VAT UHV 10-EDN16ICF電動<1×10?13 mbar="">450°C(定制)200,000+

3. 詳細技術參數(shù)

參數(shù)標準值/范圍
真空性能
- 漏率<1×10?12 mbar="">
- 耐壓差10?12 mbar ~ 大氣壓
機械性能
- 閥體材質316L不銹鋼(EP級)
- 密封材質銅/鋁鍍金或無氧銅
- 循環(huán)壽命>50,000次(金屬密封)
電氣/氣動參數(shù)
- 驅動方式氣動(0.5~0.7MPa)/電動(24V DC)
- 響應時間氣動版≤1s,電動版≤5s
環(huán)境適應性
- 烘烤溫度標準250°C,定制450°C
- 耐腐蝕性兼容H?、O?、等離子體(需選配鍍層)

三、典型應用場景

1. 半導體制造

  • 應用

    • 刻蝕機/離子注入機的腔體隔離(防顆粒污染)。

    • 分子束外延(MBE)系統(tǒng)的超高真空維持。

  • 型號推薦

    • VAT UHV 24-A(DN40,氣動快速隔離)。

2. 科研裝置

  • 應用

    • 同步輻射光源的束線控制。

    • 核聚變裝置(如托卡馬克)的真空分段。

  • 型號推薦

    • VAT UHV 54-M(DN100,手動可靠密封)。

3. 航天與鍍膜

  • 應用

    • 衛(wèi)星推進劑儲罐的真空密封測試。

    • 光學鍍膜機的腔體壓力調節(jié)。

  • 型號推薦

    • VAT UHV 10-E(DN16,電動精密控制)。


四、選型與安裝要點

1. 選型關鍵因素

  • 通徑需求:根據(jù)流量計算(如DN40對應約20 L/s @10?? mbar)。

  • 驅動方式

    • 氣動:快速開關(適合安全隔離)。

    • 電動:可集成自動化控制(如PLC)。

  • 法蘭標準

    • CF法蘭:超高真空(金屬密封)。

    • ICF法蘭:極小漏率需求(如10?13 mbar)。

2. 安裝規(guī)范

  • 清潔要求

    • 安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面(戴無塵手套)。

  • 扭矩控制

    • CF法蘭螺栓需按對角線分步擰緊(DN40推薦8~10 Nm)。

  • 烘烤建議

    • 以10°C/min速率升溫至250°C,保溫48小時。


五、維護與故障處理

故障現(xiàn)象可能原因解決方案
漏率超標密封面劃傷/顆粒污染重新拋光密封面或更換閥座
閥門卡滯高溫變形/潤滑不足使用高溫潤滑脂(如Apiezon N)
驅動失效電磁閥故障(氣動版)檢查氣源壓力(≥0.5MPa)
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