一、概況及原理:
羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。二個(gè)三葉型轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙,通過(guò)一對(duì)同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪使二個(gè)轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)相互嚙合并保持一定間隙。下圖為泵的結(jié)構(gòu)原理圖,從圖Ⅰ至Ⅳ為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)并完成一次吸、排氣的過(guò)程。
采用三葉型線轉(zhuǎn)子的羅茨真空泵比傳統(tǒng)二葉型線轉(zhuǎn)子的羅茨真空泵的抽氣效率、容許壓差、溫升、振動(dòng)、噪聲等主要性能指標(biāo)都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

二、主要特點(diǎn):
1、轉(zhuǎn)速高、容積效率高、溫升低、振動(dòng)小。
2、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性好,使用、維護(hù)更方便。
3、轉(zhuǎn)子被鎖緊,轉(zhuǎn)子無(wú)軸向串動(dòng)現(xiàn)象、故障率更低。
4、與傳統(tǒng)二葉羅茨真空泵比較,抽氣性能優(yōu)勢(shì)十分明顯。
5、采用高精度傳動(dòng)齒輪和精密滾動(dòng)軸承,噪聲低、運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
6、主軸采用多彈簧平衡式機(jī)械密封,確保泵腔無(wú)油和泵的長(zhǎng)期無(wú)泄漏。
7、端蓋密封可采用機(jī)械密封、骨架密封、活塞環(huán)迷宮密封等多種結(jié)構(gòu)型式。
8、可與油封機(jī)械泵、往復(fù)泵、液環(huán)泵、螺桿型干式泵等前級(jí)泵配套,滿(mǎn)足各類(lèi)工藝要求。
三、應(yīng)用范圍:
羅茨真空泵的優(yōu)點(diǎn)是在較低入口壓力時(shí)仍具有較大抽氣效率,但普通羅茨真空泵一般情況下是不能單獨(dú)使用,必須與前級(jí)真空泵配套使用。當(dāng)前級(jí)真空泵將系統(tǒng)內(nèi)的壓力抽到羅茨真空泵容許啟動(dòng)壓力后,才可啟動(dòng)羅茨真空泵。
根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件,羅茨真空泵的前級(jí)真空泵可采用油封式機(jī)械真空泵、液環(huán)式真空泵、螺干干式真空泵等。配置不同類(lèi)別的前級(jí)真空泵后羅茨真空泵各項(xiàng)性能指標(biāo)有所不同。
羅茨真空泵主要應(yīng)用于需要大抽速和粗、中真空(103 ~10-2Pa)的任何真空系統(tǒng)中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類(lèi)化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。
四、羅茨真空泵主要技術(shù)參數(shù):

五、性能曲線:

六、外形尺寸:





















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