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臺階儀

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RTEC儀器公司總部位于美國加州硅谷圣何塞市,在歐洲瑞士擁有獨立研發(fā)和制造分公司,在美國東岸佛吉尼亞州和中國以及印度擁有應(yīng)用開發(fā)以及銷售和技術(shù)支持分公司。RTEC儀器專注于開發(fā)和制造力學(xué)以及光學(xué)測試相關(guān)領(lǐng)域高科技儀器,提供專業(yè)的測試解決方案,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于幾乎所有業(yè)界大學(xué),科研院所以及五公司工業(yè)研發(fā)以及質(zhì)量控制。Rtec儀器在材料測試領(lǐng)域擁有深厚的專業(yè)優(yōu)勢。 測試儀器包括摩擦磨損試驗機、三維光學(xué)形貌儀、微納米壓痕/劃痕儀、高溫硬度、微動測試機,光學(xué)膜厚測試儀,化學(xué)機械拋光測試儀等??捎糜跐櫥?、摩擦、磨損、粘附、微納米硬度、薄膜涂層結(jié)合力/內(nèi)聚力,表面粗糙度,化學(xué)機械拋光研發(fā)及薄膜厚度等納米級到宏觀級的性能測試。
高溫摩擦磨損試驗機
臺階儀集合了共焦光學(xué)形貌儀,WLI白光干涉形貌儀,原子力顯微鏡,接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測
臺階儀 產(chǎn)品信息
臺階儀

集合了共焦光學(xué)形貌儀,WLI白光干涉形貌儀,原子力顯微鏡,接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測。

技術(shù)參數(shù)


項目簡述 參數(shù)說明
共焦
  • 可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。
  • 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150倍) 全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測量>: 72°vs 44°) 。
  • 具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的理想配置。
  • 在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制
  • 應(yīng)用于透明層/薄膜。
  • 兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。
  • 長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。
  • 高穩(wěn)定性。
干涉儀(WLI)
  • Z向高分辨率
  • 兼具相移(PSI)以及垂直掃描(VSI)模式
  • Z向分辨率可獨立放大
  • 四色CCD 相機,用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍(lán)光和紅光)
  • 高達(dá)五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機
  • 快速處理器
  • 自動對焦
原子力顯微鏡
  • 探針掃描可用于大型模板
  • X、Y、Z三向可達(dá)原子級分辨率
  • 大壓電探針掃描XY: 達(dá)到 110x110um
變焦
  • 粗糙表面分析
  • 快速分析
  • 一臺設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀 高精度原子力顯微鏡














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