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光學鏡片晶體半導體專用無塵烘箱

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試驗箱
光學鏡片晶體半導體專用無塵烘箱無氧化無塵烘箱,又名無氧化潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環(huán),經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態(tài)。注入氮氣,防止產(chǎn)品氧化。烘箱工作室為不銹鋼結構。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。
光學鏡片晶體半導體專用無塵烘箱 產(chǎn)品信息


 無氧化無塵烘箱,又名無氧化潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環(huán),經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態(tài)。注入氮氣,防止產(chǎn)品氧化。烘箱工作室為不銹鋼結構。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。

序號

內容

規(guī)格

1

設備型號

SN-TOG240*2/*4/*6

2

設備名稱

無氧化烘箱(又名氮氣烘箱

3

技術參數(shù)

3.1 電源:AC380V 3∮ 50Hz 20KVA

3.2 溫度均勻度:100℃±2℃以內、250℃±3℃以內(空爐測試);

3.3 溫度范圍: RT+20~Max250℃;

3.4升溫時間:常溫到200℃約需時間30min(空爐測試);

3.5加熱功率:2.5~6KW/槽;

3.6氮氣流量:

轉子流量計,流量可調,充氮壓力可調(氮氣的整體控制過程),保證低的含氧量的指標下,節(jié)省氮氣的消耗。

3.7含氧量:500PPM以下,(以光學行業(yè)要求為例,如富士能,舜宇光學,深愛半導體,索尼等)

4

機臺尺寸

4.1 內尺寸:W 710mm × D610mm × H 560mm;上下兩槽式(亦可單槽/多槽結構)定制。

4.2 外尺寸約:W950mm × D1190mm × H1750mm;

5

溫度控制系統(tǒng)

5.1傳感器:采用日制進口感溫芯片,不銹鋼外套,輸出被控制元件:SSR固態(tài)繼電器輸出;

5.2溫度控制器:采用DTB9696型多段程序溫度控制器,數(shù)字設定,LED顯示,PID自動演算,SSR固態(tài)繼電器輸出,內建計時器;

5.3 溫度控制器顯示精度: 0.1;

5.4 溫度均勻度: ±2%(空爐測試);以溫度值計算,非使用溫度點。

5.5 溫度測量傳感器:采用日制CA感應棒,輸出被控制元件:SSR無接點訊號輸出;

6

機臺動作

6.1溫度到達開始計時,時間到停止加熱并報警;

6.2 超溫報警;

6.3 充氮動作:

充氮壓力可以調整:氮氣不充時報警。

氮氣流量受轉子流量計控制,客戶根據(jù)需要,

可以手動調整

6.4 溫度程序運行按試驗要求設置恒溫時間;

降溫方式:水冷式;于循環(huán)空調室內安裝盤管蒸發(fā)器,當需降溫時利用水流加速降溫。水流量過低時報警。自175度降溫至60度時間約40MIN左右。

7

機臺結構

7.1 采用單門設計,控制箱位于機臺方;

7.2 內部材料:

采用SUS304#鏡面不銹鋼板,經(jīng)堿性蘇打水清潔,去掉油污,避免烘烤時產(chǎn)生灰塵;

7.3 外部材料:采用拉絲不銹鋼板制造;

7.4 保溫材料:采用國產(chǎn)優(yōu)質超細,100K級高密度高保溫材料制造,六面保溫;

7.5 運風方式:采取平面水平由后向前送風后往前門(特殊風道設計)方向送風。

7.6 排氣口:電磁閥排氣口,用于達到強烈循環(huán)效果而降溫的目的。(貴公司提供抽風機加強效果,風管接頭5

8

充氮系統(tǒng)

8.1 氮氣轉子流量計

8.2 充氮壓力調節(jié)開關

8.3 氮氣進氣口:加裝流量計控制進氣量,入氣口:6mm;

8.4 排氣口:自動啟動風門,達到強烈循環(huán)效果而降溫的目的;

9

加熱器

采用定制專用不銹鋼無氧化加熱器;

10

安全裝置

10.1 超溫防止警報裝置;

10.2 電熱、馬達過電流保護;

10.3 控制回路短路及過載保護;

10.4 漏電斷路器;

10.5 逆向防止器;

10.6 機臺異常風鳴器;

11

配備

11.1 采用嵌入式防爆門鎖;

11.2三色指示燈:黃色待機,綠色運轉,紅色超溫指示;

11.3 配合烘烤流程,控制氮氣及空氣之啟閉,避免氮氣浪費;

11.4 加入時間制,當試驗時間到,機臺斷電。★★★

12

附屬品

機器說明書、溫度控制器說明書等;


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