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AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)_晶圓搬運_國產晶圓搬送機

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泰勒斯(天津)科技有限公司Telles (tianjin) technology co., LTD 總部位于中國天津。是一家集研發(fā),生產,銷售于一體的企業(yè),匯集了一批具有相當理論基礎和豐富實戰(zhàn)經驗的中高級技術人員,經過多年的發(fā)展及各領域合作伙伴的支持幫助,在原有檢測儀器的基礎上開發(fā)生產多個系列產品,產品具有可靠的穩(wěn)定性,性價比更高。作為中國智能工業(yè)領域的品牌,泰勒斯致力于為精密制造業(yè)客戶提供精密測量儀器、環(huán)境實驗室儀器以及機器視覺自動化、3D打印機等,涵蓋產品尺寸測量、環(huán)境試驗、表面缺陷檢測、自動化檢測等各環(huán)節(jié),幫助精密制造業(yè)客戶降低成本、提高質量、改善效率,從而推進客戶企業(yè)的競爭力! 泰勒斯目前擁有精密測量儀器、環(huán)境試驗儀器、機器視覺、3D打印機等四大產品系列。產品分為:1.精密光學類檢測儀器:高精密手動/半自動/自動機影像測量儀;2.精密型單目/雙目/電腦軟件型工具顯微鏡;3.各類普通測量顯微鏡;4.一鍵式測量儀;5.三坐標;6.各種非標定制機器。
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SOPTOP全新半導體工業(yè)檢測產品AWL系列晶圓檢查系統(tǒng),兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查
AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)_晶圓搬運_國產晶圓搬送機 產品信息

 SOPTOP全新半導體工業(yè)檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng),兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

  
一個晶圓在經過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元,期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
 

 

SOPTOP推出了AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)(晶圓搬送機),擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機型,多類配置分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測,適應范圍廣、搭配靈活 。


 
AWL系列可自由設置的檢查模式,充分符合人機工程學設計,操作舒適、簡便,又可稱作晶圓自動搬送機。

 
360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉,更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度70°,晶背 1 傾斜角度 90°,晶背 2傾斜角度 160°,利用旋轉功能、傾斜角度,可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
 

人機工程學設計
LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺體驗,可清晰的顯示當前檢查項目及次序,調試參數一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率,充分體現(xiàn)了國產晶圓搬送機的人機工程學設計理念。

 

精密微觀檢查
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡,可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng),可排查 μm 級異常,諸如孔未開出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
  
 
應用領域

 

 

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