SOPTOP全新半導體工業(yè)檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng),兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

一個晶圓在經過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元,期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

SOPTOP推出了AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)(晶圓搬送機),擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機型,多類配置分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測,適應范圍廣、搭配靈活 。


360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉,更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度70°,晶背 1 傾斜角度 90°,晶背 2傾斜角度 160°,利用旋轉功能、傾斜角度,可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉,更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度70°,晶背 1 傾斜角度 90°,晶背 2傾斜角度 160°,利用旋轉功能、傾斜角度,可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。

人機工程學設計
LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺體驗,可清晰的顯示當前檢查項目及次序,調試參數一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率,充分體現(xiàn)了國產晶圓搬送機的人機工程學設計理念。
精密微觀檢查
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡,可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng),可排查 μm 級異常,諸如孔未開出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡,可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng),可排查 μm 級異常,諸如孔未開出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
應用領域



















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