一、簡要介紹
晶體生長爐可用于多晶錠的定向凝固,通過控制溫度梯度、物質(zhì)傳輸速率及生長參數(shù),實現(xiàn)單晶的高效、高質(zhì)量生長,適用于碳化硅、單晶硅等材料的制備。
該設(shè)備主要由設(shè)備主體、爐管法蘭組件、控制面板、感應(yīng)線圈移動機構(gòu)、物料升降機構(gòu)、高真空系統(tǒng)、水冷機等組成。
該設(shè)備設(shè)計溫度為1500℃,PID 程序控溫(自整定調(diào)節(jié) 30段可調(diào)程序控溫);
感應(yīng)線圈可升降可更換圈數(shù),移動行程:200mm,移動速度:1-3mm/h;
內(nèi)含載物坩堝,坩堝配有升降機構(gòu),最大行程:200mm,有熱電偶實時測溫;

二、技術(shù)參數(shù)
型號 | LFT1600C20VIM VT |
設(shè)備重量 | 220KG |
外型尺寸(長*深*高) | 725*1125*1790mm |
輸出功率 | 20KW |
震蕩頻率 | 200-500KHZ |
加熱電流 | 2.8-28A |
輸入電壓 | 三相 380V 50HZ |
負載持續(xù)率 | 100%(24小時連續(xù)工作) |
控溫方式 | PID控制 |
測溫方式 | 熱電偶測溫(可調(diào)節(jié)測溫距離) |
設(shè)計溫度 | 1500℃ |
爐管尺寸 | Φ80*500mm |
感應(yīng)線圈 | DN80,1/2/3匝 |
線圈移動行程 | 200mm |
線圈移動速度 | 1-3mm/h |
樣品升降行程 | 200mm |



















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