技術參數(shù):
型號 | TASZ3050D203-N | TASZ3050D403-N | ||
產品特點 | 可搭載OHT實現(xiàn)無人化操作,節(jié)省空間,真空下低溫烘烤縮短工藝時間,產品保護產品性能提升。 | |||
氧氣含量 | 50PPM | 工藝溫度 | 室溫+30-300℃ | |
產品規(guī)格 | 8/12inch 晶圓 | 存放數(shù)量 | 50PCS/管 | |
加熱器 | 熱電阻加熱 | |||
上料口 | 2個 | 機械手 | 1 | |
溫度范圍 | 長期使用溫度: 200℃,溫度:300℃ | |||
升溫速率 | 1~5℃/min | 降溫速率 | 3℃/min | |
加熱功率 | 22KW | 加熱溫區(qū) | 3個 | |
爐溫均勻性 | ±3℃ | 控溫熱偶 | K分度 | |
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |
爐腔材料 | SUS316L | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | |
氣氛控制 | 多路流量計調節(jié)進氣 | 氣氛 | N2 | |
真空度 | ≤10pa | |||
潔凈度 | Class 100 | 翹曲度 | 12寸翹曲度≤2mm; 8寸翹曲度≤1mm | |




















江达县|
库尔勒市|
盐亭县|
澄迈县|
赤壁市|
温州市|
德钦县|
绥滨县|
赤水市|
巴彦县|
金沙县|
洪洞县|
桦南县|
德兴市|
麟游县|
五原县|
靖安县|
筠连县|
桑日县|
温泉县|
文成县|
娱乐|
正镶白旗|
当阳市|
大邑县|
鹤庆县|
泾源县|
和政县|
通州区|
石棉县|
上犹县|
长丰县|
邵武市|
七台河市|
盐山县|
龙江县|
清徐县|
香格里拉县|
屯留县|
盐津县|
宁乡县|