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國產晶體生長價格

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熱處理設備,高溫爐、CVD/PECVD、真空系統(tǒng)、晶體、耗材等
晶體生長爐可用于多晶錠的定向凝固,通過控制溫度梯度、物質傳輸速率及生長參數(shù),實現(xiàn)單晶的高效、高質量生長,適用于碳化硅、單晶硅等材料的制備。
國產晶體生長價格 產品信息

一、簡要介紹

晶體生長爐可用于多晶錠的定向凝固,通過控制溫度梯度、物質傳輸速率及生長參數(shù),實現(xiàn)單晶的高效、高質量生長,適用于碳化硅、單晶硅等材料的制備

該設備主要由設備主體、爐管法蘭組件、控制面板、感應線圈移動機構、物料升降機構、高真空系統(tǒng)、水冷機等組成。

該設備設計溫度為1500℃,PID 程序控溫(自整定調節(jié) 30段可調程序控溫);

感應線圈可升降可更換圈數(shù),移動行程:200mm,移動速度:1-3mm/h;

內含載物坩堝,坩堝配有升降機構,最大行程:200mm,有熱電偶實時測溫;

晶體生長爐LFT1600C 20VIM VT

二、技術參數(shù)

型號

LFT1600C20VIM VT

設備重量

220KG

外型尺寸(長*深*高)

725*1125*1790mm

輸出功率

20KW

震蕩頻率

200-500KHZ

加熱電流

2.8-28A

輸入電壓

三相 380V 50HZ

負載持續(xù)率

100%(24小時連續(xù)工作)

控溫方式

PID控制

測溫方式

熱電偶測溫(可調節(jié)測溫距離)

設計溫度

1500℃

爐管尺寸

Φ80*500mm

感應線圈

DN80,1/2/3匝

線圈移動行程

200mm

線圈移動速度

1-3mm/h

樣品升降行程

200mm



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