高精度測高儀

518系列一高精度2D測量系統(tǒng)

1.指示精度可達(dá)（1.1+0.6L/600）μm。

2.高度測量具有出色的高精度，并且擁有豐富的測量功能。

3.采用高精度反射性線性編碼器和高精度導(dǎo)軌，追求更高的精度。

4.測量可以通過圖標(biāo)命令來執(zhí)行，支持一鍵操作，具有豐富功能的同時追求操作的簡便性。

5.使用TFT液晶顯示屏，以達(dá)到良好的可視性和可操作性。

6.氣體全浮/半浮系統(tǒng)可以進(jìn)行氣浮高度調(diào)整。

7.配有連接打印機、數(shù)顯量具的端口外，還配備有RS-232C通信功能等豐富的接口。

8.高度基準(zhǔn)的巖石平臺的信息請參見E-47頁。

9.數(shù)據(jù)備份/恢復(fù)，工件測量程序可通過USB存儲設(shè)備來執(zhí)行（FAT16/32兼容格式）。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：

為了進(jìn)行高精度測量，請注意以下事項。

·請盡量在接近20℃、溫度變化較少的環(huán)境中使用。

·本機會受到平臺平面度的影響，請使用1級以上的平臺。

*1：指示精度·重復(fù)精度的值，為使用標(biāo)準(zhǔn)附件o5階差測頭時的值。

*2:垂直度·直線度的值，為使用杠桿式測微頭（MLH-521）以及Mu checker(M-511）時的值。