1)可對(duì)樣品進(jìn)行 49 點(diǎn)、81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心半徑邊緣 9 點(diǎn)、直徑掃描等測(cè)試;統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)生成 2D 和 3D 的 map 圖;
2)屏蔽測(cè)試,消除光對(duì)樣品測(cè)試的影響,保證測(cè)量的準(zhǔn)確性;
3)真空吸附防止全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)對(duì)測(cè)試的影響;
4)一體化嵌入式設(shè)計(jì),觸控電腦屏幕操作,手指點(diǎn)點(diǎn)就可以完成操作。
四探針電阻測(cè)試儀不僅是工程和物理學(xué)的勝利,也是工程和物理學(xué)的勝利。四探針是一種實(shí)用工具,在各個(gè)行業(yè)都有多種應(yīng)用。四探針適用于半導(dǎo)體及太陽(yáng)能電池(單晶硅、多晶硅、非晶硅、鈣鈦礦)、液晶面板(ITO/AZO) 、功能材料(熱電材料、碳納米管、石墨烯、納米線、導(dǎo)電纖維、復(fù)合材料)、半導(dǎo)體工藝檢測(cè)(金屬化/離子注入/擴(kuò)散層)、非晶合金等、形狀記憶合金、半導(dǎo)體制造等多個(gè)行業(yè)。

四探針測(cè)量?jī)x是一種常用的用于測(cè)量電子材料(如硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)等半導(dǎo)體材料的電阻率以及用于電子器件的薄膜(薄層)的電阻率值的測(cè)量工具。

CHT-4500RH是專(zhuān)為科學(xué)研究設(shè)計(jì)的掃描四探針電阻測(cè)試儀,可以對(duì) 200mm 樣品(或 8 英寸晶圓)進(jìn)行快速、自動(dòng)的掃描,獲得樣品不同位置的方阻/電阻率分布信息。探針頭借鑒了機(jī)械鐘表機(jī)芯制造工藝,使用紅寶石軸承引導(dǎo)碳化鎢探針,確保高機(jī)械精度和長(zhǎng)使用壽命。動(dòng)態(tài)測(cè)試重復(fù)性(接近真實(shí)場(chǎng)景)可達(dá) 0.2%,為行業(yè)水平。1 μΩ~1 MΩ的超寬測(cè)量范圍可涵蓋絕大部分應(yīng)用場(chǎng)景,可廣泛適用于光伏、半導(dǎo)體、合金、陶瓷等諸多領(lǐng)域。
CHT-4500RH 型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專(zhuān)用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用設(shè)備。通過(guò)全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng),對(duì)晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測(cè)量,繪制出等值線圖后,從而直接觀察到整個(gè)晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。
CHT-4500RH 型四探針自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)通過(guò)采用四探針雙位組合測(cè)量技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,其最后計(jì)算結(jié)果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的,對(duì)測(cè)量結(jié)果的不利影響。因而在測(cè)試過(guò)程中,在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動(dòng)態(tài)地對(duì)以上不利因素的自動(dòng)修正,顯著降低了其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。
CHT-4500RH 型全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)擁有友好操作測(cè)試界面,通過(guò)此測(cè)試程序輔助用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試操作,把采集到的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以 Excel 表格,2D、3D 等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來(lái)。方便用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看。
全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)


| 型號(hào) | CHT-4500RH |
測(cè)量范圍 | 電阻率: 10-5~105?.cm; |
可測(cè)晶片尺寸 | 2 英寸~12 英寸;(太陽(yáng)能電池片≤210mm*210mm) |
恒流源 | 電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。 |
采樣電壓范圍 | 量程: 000.00~199.99mV;(低阻擴(kuò)展時(shí),量程: 00.000~19.999mV) |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距: 1±0.01mm;針間絕緣電阻:≥1000M?; 機(jī)械游移率:≤0.3%; |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 | 0.01?、 0.1?、 1?、 10?、 100?、 1000?、 10000?≤0.2% |
整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.003-500Ω .cm 測(cè)試)≤± 3%( 23℃) |
重復(fù)性 | ≤± 0.5% |
最小去邊距離 | 3mm |
自動(dòng)測(cè)試選點(diǎn)方式 | 49 點(diǎn)、 81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心 |
測(cè)試數(shù)據(jù)處理 | 以 Excel 格式文件表格記錄測(cè)試數(shù)據(jù),并生成 2D、3D 的 map 圖。用戶可對(duì) |
屏蔽和吸附測(cè)試 | 對(duì)樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測(cè)試,消除光和全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng) |
外形尺寸 | 580mm× 475mm× 450mm(深×寬×高) |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度: 23±2℃; 相對(duì)濕度:≤65%;無(wú)高頻干擾 |













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