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嚴(yán)質(zhì)掃描四探針?lè)阶鑳x

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上海嚴(yán)質(zhì)檢測(cè)設(shè)備有限公司總部位于上海市;在廣東、無(wú)錫、蘇州別有加工工廠,是一家專(zhuān)業(yè)做實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備、計(jì)量檢測(cè)設(shè)備并且代理國(guó)外進(jìn)口品牌TRIMOS 、WYLER 、SYLVAC 、KUNZ 、德國(guó)的WERTH 、OPTACOM 、JENOPTIK 、LAMTECH 等等。嚴(yán)質(zhì)不斷推出適用于行業(yè)檢測(cè)需要的新產(chǎn)品和新技術(shù),盡全力為各界用戶提供更加優(yōu)質(zhì)的服務(wù),加大研發(fā)力度,不斷推陳出新,為廣大客戶提供全面、優(yōu)質(zhì)的儀器設(shè)備及測(cè)試實(shí)驗(yàn)解決方案,用的服務(wù),介紹的產(chǎn)品。為您的生產(chǎn)提供質(zhì)量保證,為您的檢測(cè)提供標(biāo)準(zhǔn)。我們期待以產(chǎn)品為紐帶,用服務(wù)作橋梁,和您建立長(zhǎng)期融洽的伙伴關(guān)系。公司產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)為航空航天、汽車(chē)、模具、電子、五金、精密機(jī)械、、光伏、化工、鑄造、研究院校、實(shí)驗(yàn)室等科研單位提供: 一、環(huán)境類(lèi):高低溫試驗(yàn)箱、快速溫變?cè)囼?yàn)箱、恒溫恒濕房、電熱鼓風(fēng)干燥箱、老化箱、冷熱試驗(yàn)箱、淋雨試驗(yàn)箱、步入式老化房、臭氧老化試驗(yàn)箱、氙燈老化試驗(yàn)箱、鹽霧老化試驗(yàn)箱、紫外光耐氣候試驗(yàn)箱、防塵試驗(yàn)箱、防水試驗(yàn)箱等; 二、光學(xué)類(lèi):光學(xué)影像測(cè)量?jī)x、三坐標(biāo)、手動(dòng)影像儀、全自動(dòng)影像儀、自動(dòng)龍門(mén)二次元影像儀等; 三、力學(xué)類(lèi):包裝紙箱試驗(yàn)機(jī)、材料試驗(yàn)機(jī)、拉力機(jī)、光伏片剝離力試驗(yàn)機(jī)、膠帶剝離力試驗(yàn)機(jī)、膠帶保持力試驗(yàn)機(jī)、高溫保持力試驗(yàn)機(jī)、吸合電磁式振動(dòng)臺(tái)等; 四、幾何量測(cè)量類(lèi):測(cè)高儀、量具、測(cè)長(zhǎng)儀、粗糙度輪廓儀、圓度儀、平面度檢測(cè)儀、水平儀、直線度垂直度檢測(cè)儀、工業(yè)CT等。
大型冷熱沖擊試驗(yàn)箱
產(chǎn)品應(yīng)用CHT-4500RH是專(zhuān)為科學(xué)研究設(shè)計(jì)的掃描四探針電阻測(cè)試儀,可以對(duì) 200mm 樣品(或 8 英寸晶圓)進(jìn)行快速、自動(dòng)的掃描,獲得樣品不同位置的方阻/電阻率分布信息。探針頭借鑒了機(jī)械鐘表機(jī)芯制造工藝,使用紅寶石軸承引導(dǎo)碳化鎢探針,確保高機(jī)械精度和長(zhǎng)使用壽命。動(dòng)態(tài)測(cè)試重復(fù)性(接近真實(shí)場(chǎng)景)可達(dá)0.2%,為行業(yè)水平。1 μΩ~1 MΩ的超寬測(cè)量范圍可涵蓋絕大部分應(yīng)用場(chǎng)景,可廣泛適用于光伏、半導(dǎo)體、合金、陶瓷等諸多領(lǐng)域。
嚴(yán)質(zhì)掃描四探針?lè)阶鑳x 產(chǎn)品信息

1)可對(duì)樣品進(jìn)行 49 點(diǎn)、81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心半徑邊緣 9 點(diǎn)、直徑掃描等測(cè)試;統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)生成 2D 和 3D 的 map 圖;

2)屏蔽測(cè)試,消除光對(duì)樣品測(cè)試的影響,保證測(cè)量的準(zhǔn)確性;
3)真空吸附防止全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)對(duì)測(cè)試的影響;
4)一體化嵌入式設(shè)計(jì),觸控電腦屏幕操作,手指點(diǎn)點(diǎn)就可以完成操作。


四探針電阻測(cè)試儀不僅是工程和物理學(xué)的勝利,也是工程和物理學(xué)的勝利。四探針是一種實(shí)用工具,在各個(gè)行業(yè)都有多種應(yīng)用。四探針適用于半導(dǎo)體及太陽(yáng)能電池(單晶硅、多晶硅、非晶硅、鈣鈦礦)、液晶面板(ITO/AZO) 、功能材料(熱電材料、碳納米管、石墨烯、納米線、導(dǎo)電纖維、復(fù)合材料)、半導(dǎo)體工藝檢測(cè)(金屬化/離子注入/擴(kuò)散層)、非晶合金等、形狀記憶合金、半導(dǎo)體制造等多個(gè)行業(yè)。


圖


四探針測(cè)量?jī)x是一種常用的用于測(cè)量電子材料(如硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)等半導(dǎo)體材料的電阻率以及用于電子器件的薄膜(薄層)的電阻率值的測(cè)量工具。


圖


CHT-4500RH是專(zhuān)為科學(xué)研究設(shè)計(jì)的掃描四探針電阻測(cè)試儀,可以對(duì) 200mm 樣品(或 8 英寸晶圓)進(jìn)行快速、自動(dòng)的掃描,獲得樣品不同位置的方阻/電阻率分布信息。探針頭借鑒了機(jī)械鐘表機(jī)芯制造工藝,使用紅寶石軸承引導(dǎo)碳化鎢探針,確保高機(jī)械精度和長(zhǎng)使用壽命。動(dòng)態(tài)測(cè)試重復(fù)性(接近真實(shí)場(chǎng)景)可達(dá) 0.2%,為行業(yè)水平。1 μΩ~1 MΩ的超寬測(cè)量范圍可涵蓋絕大部分應(yīng)用場(chǎng)景,可廣泛適用于光伏、半導(dǎo)體、合金、陶瓷等諸多領(lǐng)域。 

CHT-4500RH 型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專(zhuān)用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用設(shè)備。通過(guò)全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng),對(duì)晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測(cè)量,繪制出等值線圖后,從而直接觀察到整個(gè)晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。

CHT-4500RH 型四探針自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)通過(guò)采用四探針雙位組合測(cè)量技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,其最后計(jì)算結(jié)果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的,對(duì)測(cè)量結(jié)果的不利影響。因而在測(cè)試過(guò)程中,在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動(dòng)態(tài)地對(duì)以上不利因素的自動(dòng)修正,顯著降低了其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。

CHT-4500RH 型全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)擁有友好操作測(cè)試界面,通過(guò)此測(cè)試程序輔助用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試操作,把采集到的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以 Excel 表格,2D、3D 等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來(lái)。方便用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看。


全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)


全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)


全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)

型號(hào)CHT-4500RH

測(cè)量范圍

電阻率: 10-5~105?.cm;
方塊電阻: 10-4~106?/□;

可測(cè)晶片尺寸

2 英寸~12 英寸;(太陽(yáng)能電池片≤210mm*210mm)

恒流源

電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。

采樣電壓范圍

量程: 000.00~199.99mV;(低阻擴(kuò)展時(shí),量程: 00.000~19.999mV)
分辨力: 10μ V;(低阻擴(kuò)展時(shí),分辨力: 1μ V)
輸入阻抗:>1000MΩ;精度:± 0.1%;

四探針探頭基本指標(biāo)

間距: 1±0.01mm;針間絕緣電阻:≥1000M?; 機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm;探針壓力: 5~16 牛頓(總力);

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

0.01?、 0.1?、 1?、 10?、 100?、 1000?、 10000?≤0.2%

整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.003-500Ω .cm 測(cè)試)≤± 3%( 23℃)

重復(fù)性

≤± 0.5%

最小去邊距離

3mm

自動(dòng)測(cè)試選點(diǎn)方式

49 點(diǎn)、 81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心
半徑邊緣 9 點(diǎn)、直徑掃描。

測(cè)試數(shù)據(jù)處理

以 Excel 格式文件表格記錄測(cè)試數(shù)據(jù),并生成 2D、3D 的 map 圖。用戶可對(duì)
采集的數(shù)據(jù)在 Excel 中進(jìn)行進(jìn)一步的各種數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析。

屏蔽和吸附測(cè)試

對(duì)樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測(cè)試,消除光和全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)
對(duì)樣品測(cè)試的影響,保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。

外形尺寸

580mm× 475mm× 450mm(深×寬×高)

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度: 23±2℃; 相對(duì)濕度:≤65%;無(wú)高頻干擾

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