測(cè)量

1）?接觸性測(cè)量: ?損傷地獲取表?形貌信息;

2）?精度: 粗糙度/輪廓信息測(cè)量精度1nm;

3）快速測(cè)量: 快速對(duì)焦、快速掃描、快速重建處理;

4）穩(wěn)定性: 良好的抗振和抗?擾能力，適應(yīng)復(fù)雜的?作環(huán)境。

分析

1）數(shù)據(jù)的可視化：提供直觀的數(shù)據(jù)可視化展?供直接觀察?涉圖案和測(cè)量結(jié)果;

2）同時(shí)，也?持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出到常?的?件格式，?便進(jìn)?進(jìn)?步的數(shù)據(jù)分析;

3）的數(shù)據(jù)分析功能：通過圖像處理算法和?級(jí)分析軟件，用戶可以進(jìn)?相位提取、表?拓?fù)浞治?

4）薄膜厚度計(jì)算等多項(xiàng)分析，從而實(shí)現(xiàn)更詳盡的測(cè)試結(jié)果和更全?的表征。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1）非接觸、快速靈活、功能的光機(jī)電一體化檢測(cè)系統(tǒng)；

2）設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能；

3）設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量；

4）設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能；

5）設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

6）設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

7）設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能。

行業(yè)應(yīng)用

1）絨面金字塔測(cè)量應(yīng)用

Ⅰ表面3D維、2D結(jié)構(gòu)；

Ⅱ單個(gè)金字塔的高度和寬度測(cè)量；

Ⅲ金字塔計(jì)數(shù)功能：可自動(dòng)統(tǒng)計(jì)出單位面積內(nèi)的晶粒數(shù)量，并在視圖上以十字符號(hào)標(biāo)記出晶粒位置，不同規(guī)格金字塔的數(shù)量布局圖。

2）柵線測(cè)量

Ⅰ柵線高度、 寬測(cè)量功能；

Ⅱ單視場(chǎng)內(nèi)的剖面線數(shù)量；

Ⅲ柵線區(qū)域自動(dòng)劃分功能；

Ⅳ柵線自動(dòng)測(cè)量功能。

3）集成電路晶圓背面減薄粗糙度

4）鈣鈦礦薄膜太陽能技術(shù)激光槽測(cè)量  臺(tái)階高度測(cè)量