1)的旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器測(cè)量技術(shù):Delta 測(cè)量范圍0-360°, 無(wú)測(cè)量死角問(wèn)題,也可消除粗糙表面引起的消偏振效應(yīng)對(duì)結(jié)果的影響;
2)粗糙絨面納米薄膜的高靈敏測(cè)量:的光能量增強(qiáng)技術(shù)、高信噪比的探測(cè)技術(shù)以及高信噪比的微弱信號(hào)處理方法,實(shí)現(xiàn)了對(duì)粗糙表面散射為主和極低反射率為特征的絨面太陽(yáng)電池表面鍍層的高靈敏檢測(cè);
3)晶體硅太陽(yáng)電池背鈍化多層膜檢測(cè):專(zhuān)門(mén)針對(duì)多層薄膜檢測(cè)而設(shè)計(jì),可滿(mǎn)足晶體硅太陽(yáng)能電池領(lǐng)域中的雙層膜,如(SiNx/SiO2 ,SiNx2/SiNx1, SiNx /Al2O3 等)的檢測(cè);
4)秒級(jí)的全光譜測(cè)量速度:全光譜測(cè)量典型5-10 秒; 快速檢測(cè)小于 1 秒;
5)原子層量級(jí)的檢測(cè)靈敏度:測(cè)量精度可達(dá)0.05nm;
6)多入射角度調(diào)節(jié):多入射角度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),增強(qiáng)了儀器測(cè)量的靈活性,尤其適合于復(fù)雜的樣品的測(cè)量場(chǎng)合;
7)視頻式樣品對(duì)準(zhǔn):精確完成樣品對(duì)準(zhǔn),并方便觀(guān)察,減小人為誤差;
8)一鍵式儀器操作:對(duì)于常規(guī)操作,只需鼠標(biāo)點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的測(cè)量、 建模、擬合和分析過(guò)程,豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)也同時(shí)方便了用戶(hù)的高級(jí)操作需求。
| 型號(hào) | CHT-TP01 |
一般指標(biāo) | |
| 光譜范圍 | (U)245-1000nm(350-1000nm基礎(chǔ)款) (UI)245–1700 nm |
| 入射角度結(jié)構(gòu) | (M)手動(dòng)變?nèi)肷浣嵌龋?0°-90°, 步距為5°, 重復(fù)性0.02 ° |
性能指標(biāo) | |
| 測(cè)量重復(fù)性* | 針對(duì)Si上的100nm SiO2膜厚的標(biāo)片時(shí): 膜厚重復(fù)性:0.01nm 折射率重復(fù)性:0.0005 |
| 膜厚測(cè)量精度 | 膜厚測(cè)量精度:±0.5nm |
| 單次測(cè)量時(shí)間 | 全光譜Ψ/ Δ值測(cè)量,典型測(cè)量時(shí)間 5-10 秒 |
光學(xué)和機(jī)械組件 | |
| 橢偏原理 | PSCA模式(P-起偏器,S-樣品,C-補(bǔ)償器,A-檢偏器) 光源:寬光譜光源 |
| 起偏器/檢偏器 | 高質(zhì)量的偏振棱鏡,計(jì)算機(jī)高精度控制 |
| 測(cè)量光斑 | 手動(dòng)調(diào)節(jié)光斑直徑,微光斑180um |
| 光譜分辨率 | 0.4nm |
| 波長(zhǎng)數(shù)據(jù)間隔 | 不大于0.5nm |
| 載物臺(tái) | 兼容300mm╳3000mm 及以下尺寸的太陽(yáng)能電池樣品一體化樣品臺(tái)輕松變換可測(cè)量單晶或多晶樣品 |
| 樣品對(duì)準(zhǔn) | 自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡&顯微鏡,用于精密樣品對(duì)準(zhǔn)(高度和傾斜度)電子視頻式圖像對(duì)準(zhǔn) |
| 探測(cè)器 | 高靈敏低噪聲光譜探測(cè)器 |
| 控制器 | 含電路板、微控制器單元、電源、光源 |
| 計(jì)算機(jī) | 高品質(zhì)計(jì)算機(jī),含操作系統(tǒng) |
| 輸出設(shè)備 | 軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù) |
軟件 | |
| 界面語(yǔ)言 | 多語(yǔ)言,包括中/英文,默認(rèn)中文 |
| 權(quán)限管理 | 包括管理員權(quán)限、操作員權(quán)限,便于儀器的管理和使用 操作模式:一鍵式常規(guī)測(cè)量模式,初學(xué)者可方便應(yīng)用 高級(jí)分析模式:可進(jìn)行復(fù)雜材料的高級(jí)分析 |
| 光譜測(cè)量 | ● 自動(dòng)設(shè)置光學(xué)組件方位角 ● 手動(dòng)/自動(dòng)執(zhí)行用戶(hù)定義的任務(wù) ● 光譜以標(biāo)準(zhǔn)的能量或者波長(zhǎng)單位顯示 ● 樣品響應(yīng)的監(jiān)視,在線(xiàn)的Ψ和Δ表述 |
| 測(cè)量結(jié)果輸出 | ● 橢偏角度Ψ , Δ及其相關(guān)的其它輸出形式 ● 介電函數(shù) ● 折射率、消光系數(shù) ● 多角度光譜測(cè)量、繪圖和擬合 ● 偏振度 ● 選擇波長(zhǎng)和角度數(shù)據(jù)剪輯,而不會(huì)改變?cè)紨?shù)據(jù) ● 合并不同數(shù)據(jù)于一個(gè)文件的合并功能 |
| 建模、模擬和擬合 | 能夠擬合多層結(jié)構(gòu)(單層膜、復(fù)合膜、周期交替多層膜),得出Ψ ,Δ 等; ● 易于使用、用戶(hù)可擴(kuò)展的材料數(shù)據(jù)庫(kù) ● 豐富的材料光學(xué)常數(shù)列表 ● 材料色散模型:包括 Cauchy, Sellmeier ,Lorentz ,Drude 等 多種材料色散模型 ● EMA 有效介質(zhì)近似 ● 每一膜層可視作均勻膜、界面、粗糙面等 合成數(shù)據(jù)分析: ● 多入射角度測(cè)量 ● 多種測(cè)量方法(橢偏Ψ/Δ 、透射、反射) 擬合: ● 對(duì)光學(xué)模型和測(cè)量數(shù)據(jù)的快速回歸擬合運(yùn)算法則 ● 同時(shí)圖形化顯示實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)與模擬數(shù)據(jù) |
| 結(jié)果顯示 | ● 顯示圖形 的報(bào)表功能,輸出測(cè)量和計(jì)算光譜、光學(xué)模型和擬合參數(shù) |




















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