氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

技術(shù)特點(diǎn)

微處理器控制                                            可獨(dú)立運(yùn)行

MFC內(nèi)部采用可編程未處理控制，使用PID控制，可實(shí)現(xiàn)       MFC上電后即可使用，用戶可通過按鍵直接對MFC進(jìn)行

不同工況條件下進(jìn)行高速準(zhǔn)確的流量控制。                   操作，無需連接其他外部電路、PC、PLC等設(shè)備。

緊湊的外形尺寸                                          多氣體多量程選擇

MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時(shí)，不但能夠減小系統(tǒng)       MFC內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式（H2、N2、Air、He等）

體積和重量，同時(shí)能夠集成更多的功能模塊。                出廠時(shí)會根據(jù)您的需求進(jìn)行操作選擇。同時(shí)，提供不同

量程MFC產(chǎn)品，可根據(jù)您的實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行選擇。

九針總線串口接口

MFC內(nèi)置九針串口，可選擇使用RS-485控制和4~20ma兩          自帶氣路凈化處理

種模式。可通過RS-485總線組網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)多臺MFC同時(shí)控制。   MFC進(jìn)氣口自帶5um氣路過濾組件，保障氣體潔凈。