可設(shè)定的功率大小:
從200V 到3kV
從1A 到100A
寬度動(dòng)態(tài)范圍:
從uV 到3kV
從fA 到100A
電容-電壓測量方式:
±400V多頻C-V
200V斜坡速率C-V
20V極低頻(VLF)C-V
直流或脈沖I-V至50µs
高電壓和高電流通道具有24bit精密模數(shù)轉(zhuǎn)換器和18bit高速(1µs)數(shù)字轉(zhuǎn)換器
測試管理軟件包括用于實(shí)時(shí)控制的跟蹤模式和用于參數(shù)提取的參數(shù)模式




















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