Park Systems原子力顯微鏡 NX-20
儀器簡(jiǎn)介:
NX-20具有的形貌表征能力,的設(shè)計(jì)使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復(fù)性。高度自動(dòng)化的軟硬件,極大地避免了人為操作的失誤和誤差,提高了工作效率測(cè)量,降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力,超高的掃描器線(xiàn)性度,極低的閉環(huán)檢測(cè)器噪聲水平,和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好,操作簡(jiǎn)便的儀器,NX-20會(huì)成為納米研究領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)界的得力助手。
Park Systems原子力顯微鏡 NX-20技術(shù)參數(shù):
掃描器
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍100μm*100μm(可選50μm*50μm)
平面偏移度:<2nm(全量程掃描)
Z掃描器
柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器
掃描范圍15μm(可選30μm)
定位檢測(cè)噪聲:0.03nm(帶寬:1kHz)
共振頻率:>9kHz
表面成像噪聲:0.03nm
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)種類(lèi):16位點(diǎn)樣品臺(tái)/150mm直徑真空吸附臺(tái)(可選200mm直徑真空吸附臺(tái))
樣品尺寸: 150mm*150mm*20mm
樣品重量:zui大500g
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:150mm*150mm(可選200mm*200mm)
主要特點(diǎn):
一、高精確性和高重復(fù)性
● 探針幾乎沒(méi)有損耗,保證了圖像的高分辨率
● 非接觸模式下zui快的掃描速度
● 獨(dú)特的雙路閉環(huán)解耦合XY平板式掃描器
● 業(yè)內(nèi)zui小的系統(tǒng)漂移和遲滯
二、低噪聲檢測(cè)器精確測(cè)量樣品形貌
●采用業(yè)界的低噪聲檢測(cè)器測(cè)量樣品形貌
● 消除了蠕變效應(yīng)導(dǎo)致的邊緣超調(diào)誤差
● 高速掃描過(guò)程中的精確形貌檢測(cè)記錄
●業(yè)界的極小正反測(cè)量偏離量,小于0.15%
三、Non-Contact™(真正非接觸) 模式極大降低了使用成本
●相對(duì)于傳統(tǒng)掃描模式,將探針壽命提高了10倍以上
●極低的探針損耗極大地延長(zhǎng)了探針高分辨掃描壽命
●對(duì)樣品幾乎沒(méi)有磨損





















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