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渦輪分子泵應用于掃描電鏡 SEM

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公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌
型號
所在地上海市
廠商性質代理商
更新時間2026/6/22 14:47:50
訪問次數(shù)41

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伯東公司成立于1953 年，范圍內有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。

上海伯東真空產品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供**的真空產品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務，覆蓋工業(yè)、半導體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產品、美國 KRI 離子源、美國Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為國際真空品牌代理商，全權負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務，使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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德國Pfeiffer 全系列真空產品，美國 KRI 離子源，美國Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門

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渦輪分子泵應用于掃描電鏡 SEM

渦輪分子泵應用于掃描電鏡 SEM 產品信息

渦輪分子泵掃描電鏡 SEM 抽真空
上海伯東德國 Pfeiffer Hipace Plus 系列渦輪分子泵廣泛集成在掃描電子顯微鏡 SEM 設備中.
掃描電子顯微鏡 SEM, 簡稱掃描電鏡原理是利用電子束掃描物體表面實現(xiàn)成像. 空氣的存在會使的電子束變型, 影響掃描效果,因此要抽真空, 高效的渦輪分子泵有利于保持樣品室的清潔度; 電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 時需要在真空環(huán)境下, 平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空室.

HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為掃描電子顯微鏡 ( 掃描電鏡 SEM ) 和質譜行業(yè)量身定做的產品, 分子泵低振動和低磁場設計, 廣泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設備里.
Pfeiffer Hipace Plus 渦輪分子泵目前在售型號 Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,
以 Hipace 300 舉例,主要技術參數(shù)如下:

型號	渦輪分子泵 HiPace 300			渦輪分子泵 HiPace 300 Plus
允許環(huán)境磁場	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 3 mT	≤ 3 mT		≤ 3 mT
允許磁場	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT		5.5 mT
噪音	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)		≤50 dB(A)
安裝方式	任意位置安裝			垂直,法蘭向上
進氣口	DN 100 ISO-K	DN 100 CF-F	DN 100 ISO-F	DN 100 ISO-K		DN 100 ISO-K	DN 100 ISO-K
極限真空度	<1X10^-7 hPa	< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa	<1X10^-7 hPa		< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa
Ar 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
H2 抽速	220 l/s	220 l/s	220 l/s	220 l/s		220 l/s	220 l/s
He 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
N2 抽速	260 l/s	260 l/s	260 l/s	260 l/s		260 l/s	260 l/s
Ar 壓縮比	> 1X10¹¹
H2 壓縮比	9X10⁵
He 壓縮比	> 1X10⁸
N2 壓縮比	> 1X10¹¹
分子泵全速時 Ar 氣體流量	7 hPa l/s	7 hPa l/s	7 hPa l/s	2 hPa l/s		2 hPa l/s	2 hPa l/s
分子泵全速時 He 氣體流量	10 hPa l/s	10 hPa l/s	10 hPa l/s	8 hPa l/s		8 hPa l/s	8 hPa l/s
分子泵全速時 H2 氣體流量	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s		> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s
分子泵全速時 N2 氣體流量	14 hPa l/s	14 hPa l/s	14 hPa l/s	5 hPa l/s		5 hPa l/s	5 hPa l/s
Ar 前級真空	25 hPa	25 hPa	25 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
H2 前級真空	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa		8,5 hPa	8,5 hPa
He 前級真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
N2 前級真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa

Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應用 >>

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