Pfeiffer 分子泵在 OLED設備上的應用
上海伯東為德國 Pfeiffer 普發(fā)真空在中國華東、華南地區(qū)的指定代理商，于近期成功銷售 Pfeiffer HiPace 700 系列分子泵，Penta 35 系列雙級旋片真空泵給國內專業(yè)從事 OLED設備制造商。并且成功替換該公司原先使用的日本低溫泵 (Cryo pump)。
OLED:有機發(fā)光二極管（Organic Light-Emitting Diode），又稱為有機電激光顯示（Organic Electroluminesence Display, OELD）。OLED具有自發(fā)光的特性，采用非常薄的有機材料涂層和玻璃基板，當電流通過時，有機材料就會發(fā)光，而且OLED顯示屏幕可視角度大，并且能夠顯著節(jié)省電能。

客戶案例：國內專業(yè)從事 OLED設備制造商，此款 OLED 設備主要用于科研機構或大學實驗之用，基本技術要求如下：

1. 腔體體積: 約 150 L 左右

2. 極限真空度：1 x 10^-7 mbar

3. 30 分鐘 – 1 小時內達到 5 x 10^-5 mbar

4. Gas: Ar, O₂

此類 OLED 生產設備，用加熱使材料蒸發(fā)的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜。主要用于有機半導體材料的物理化學性能研究實驗、有機半導體器件的原理研究實驗及 OLED 工藝研究。Pfeiffer Hipace 系列分子泵搭配 Penta 35雙級旋片泵是其理想的選擇。

上海伯東代理的Pfeiffer HiPace 700系列分子泵具有以下這些優(yōu)點：

1． 模塊化設計原則輕松滿足客戶多種應用需求

2． 集成可變頻驅動（TC 400）及電源供應系統(tǒng)，無需額外的控制

3． 分子泵可提供360°安裝方位

4． 標準水冷集成裝置

5． 標準的 RS-485 接線，可提供遠程控制

6． 可提供防腐蝕特定型號

7． 具有溫度傳感及控制單元，可保護分子泵的安全可靠運行

8． 業(yè)界的半導體 Semi S2 及 IP 54 防護等級