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渦輪分子泵 HiPace 2800 IT

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伯東公司成立于1953 年,范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團(tuán)年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。

上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供**的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。


上海伯東代理品牌包含:德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Polycold 制冷機(jī),美國HVA 真空閥門,美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機(jī),離子蝕刻機(jī),真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為國際真空品牌代理商,全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù),使用原廠進(jìn)口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師;擁有拆解,維修,校正能力并提供24小時在線服務(wù)。


德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品,美國 KRI 離子源,美國Polycold 制冷機(jī),美國HVA 真空閥門
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 產(chǎn)品信息

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 2800 IT
上海伯東德國 Pfeiffer 新推出離子注入系統(tǒng)專用渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在離子注入系統(tǒng)中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計保證小分子氣體的抽速, 確保了針對離子注入工藝的工藝適應(yīng)性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達(dá) 2600 l / s, 是同級別分子泵中.

渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能溫度管理系統(tǒng), 減少泵系統(tǒng)內(nèi)部的工藝?yán)淠统练e, 該系統(tǒng)允許單獨設(shè)置溫度, 確保渦輪分子泵能夠地適應(yīng)工藝需求. 鍍鎳轉(zhuǎn)子確保泵本身耐用性.

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 產(chǎn)品優(yōu)勢
1. 氫氣抽速高達(dá) 2600 l / s
2. 鍍鎳轉(zhuǎn)子更耐用
3. 采用智能溫度管理系統(tǒng),能自適應(yīng)工藝條件, 減少泵內(nèi)冷凝和沉積
4. 使用壽命更長

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 技術(shù)參數(shù)

法蘭(進(jìn)氣端)

DN 250 ISO-F

法蘭(出氣端)

DN 40 ISO-KF

排氣連接

G 1/8“

氮氣抽速

2,300 l/s

氬氣抽速

2,100 l/s

氦氣抽速

2,900 l/s

氫氣抽速

2,600 l/s

轉(zhuǎn)速

±2 % 27,300 rpm

運行時間

8.6 min

在全轉(zhuǎn)速情況下的氮氣氣流量

16 hPa l/s

在全轉(zhuǎn)速情況下的氬氣氣流量

11 hPa l/s

在全轉(zhuǎn)速情況下的氫氣氣流量

50 hPa l/s

在全轉(zhuǎn)速情況下的氦氣氣流量

24 hPa l/s

氮氣壓縮比

> 1X108

氬氣壓縮比

> 1X108

氦氣壓縮比

6X104

氫氣壓縮比

4X103

氮氣前級真空

0.8 hPa

根據(jù) PNEUROP 的極限壓力

< 1X10-7 hPa

重量

62 kg

冷卻方法

冷卻水耗量

100 l/h

冷卻水溫度

15 – 25 °C

接口

E74, RS-485

允許磁場

3.4 mT

聲壓水平

< 50 dB(A)


渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領(lǐng)域: 離子注入機(jī), 苛刻工藝

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT尺寸
渦輪分子泵 HiPace 2800
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型號

型號

訂貨號

HiPace 2800 IT

PM P05 241

HiPace 2800 IUT

PM P05 246


Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 2800 IT :上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心, 我司是國內(nèi)代理 Pfeiffer 產(chǎn)品的公司, 99% 并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù).

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉女士 中國臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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