產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%

● 可測(cè)范圍廣，0.01~99%

● 滿量程超低壓損為360Pa

● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

精度升級(jí)

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度        ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

質(zhì)量流量高精度           ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

重復(fù)性                         ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面

                 一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測(cè)量范圍    0.01～99%

顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± （0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程）見上段精度升級(jí)部分

                  ± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復(fù)  性    ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）

質(zhì)量流量溫度漂移    0.03%滿量程當(dāng)溫度從25℃起每變化1℃

質(zhì)量流量壓力漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于10 ms

預(yù)熱時(shí)間    < 1="">

標(biāo)定工況    25 ℃&1 Atm（可現(xiàn)場(chǎng)在測(cè)量范圍內(nèi)隨意更改）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    0.3 MPa表壓，進(jìn)出口允許瞬時(shí)壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

                        模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）

供電電流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

* 如選Profibus，則無模擬信號(hào)，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

選項(xiàng)配件

●標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號(hào)接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸入 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號(hào)輸入可選 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可測(cè)量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號(hào)接口
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸入(僅用于質(zhì)量流量控制器)
RS-485數(shù)字信號(hào)輸出
4-20mA模擬信號(hào)輸出
第二種模擬信號(hào)輸出 (僅用于質(zhì)量流量計(jì))
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
集成式電位計(jì)控制 (僅用于質(zhì)量流量控制器)

機(jī)構(gòu)認(rèn)證

待更新。

尺寸壓損

產(chǎn)品大圖

氣體編碼

* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。

* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測(cè)控，具體請(qǐng)咨詢我們。