真空腔體：根據(jù)客戶(hù)需求定制。

真空漏率：1X10^-6Pa.L/S；
      極限真空優(yōu)于5X10^-5Pa，標(biāo)準(zhǔn)配置分子泵系統(tǒng)。
      加熱功率：小于12KW；
      溫控儀表：配置觸摸屏溫控儀和專(zhuān)用溫控儀表，自主編程的溫控系統(tǒng)，配置功率控制器，帶有方便的溫度分配和功率分配接線(xiàn)端；
      腔體：功能材料透明腔體，直徑不低于240mm,耐高溫不低于1000℃，短期工作可達(dá)到1200℃。
      溫度隔離罩：配置專(zhuān)用溫度隔離罩，降低環(huán)境溫度對(duì)系統(tǒng)的影響，同時(shí)具有安全隔離功能。
      配置2套坩堝，并設(shè)有陶瓷封結(jié)的溫度傳感器，精度為：±1℃，過(guò)沖不超過(guò)2℃；
      配置2套基片溫度平衡系統(tǒng)，配置進(jìn)口精密耐高溫專(zhuān)用傳感器，精度為：±1℃，響應(yīng)速度極快，特別適合超精密溫度控制；
      配置能量反射屏一套，配置有專(zhuān)用沉積環(huán)境倉(cāng)，沉積反應(yīng)倉(cāng)可擴(kuò)展至水冷系統(tǒng)；
      配置移動(dòng)小車(chē)一套，并配置不銹鋼安裝板和推手，配置福馬輪4套，可根據(jù)客戶(hù)實(shí)際需求設(shè)計(jì)為一體機(jī)和桌面式；
      配置有SUS304柔性真空管路和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)件；
      配置三路復(fù)合真空計(jì)一套，帶RS485控制端口，配置有不銹鋼毛細(xì)管路泄壓閥，可以沉積柔性薄膜材料；
      可選配潔凈無(wú)油高真空真空系統(tǒng)。