1.1型號:CMY150(定制各種尺寸) ;
1.2真空漏率:<10E-9Torr L/S;
1.3電壓:<1000V ;
1.4功率密度:25W/cm2 ;
1.5適用電源:DC/Pulsed-DC/RF;
1.6適用溫度:<450℃;
1.7磁路:磁路模塊化,方便更換 ;
1.8安裝方式:CF接口,方便安裝 ;
1.9冷卻方式:間接水冷;
1.10能夠滿足共濺射和垂直濺射,能夠與設(shè)備控制系統(tǒng)兼容;
2.隨動擋板。
2.1接口尺寸:CF或威爾遜接口電動擋板結(jié)構(gòu);
2.2密封方式:無接觸式靜密封;
2.3能夠微調(diào)擋板結(jié)構(gòu),在濺射源正常工作后調(diào)整擋板角度;
2.4帶有快卸接口,能夠迅速拆卸和安裝。
2.5擋板數(shù)據(jù)接口和設(shè)備控制系統(tǒng)能夠兼容。
















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